Ein Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie
Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III‐V‐Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein großer Bedarf hins...
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| Published in | Chemie ingenieur technik Vol. 78; no. 6; pp. 679 - 688 |
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| Main Authors | , , , , , , |
| Format | Journal Article |
| Language | English |
| Published |
Weinheim
WILEY‐VCH Verlag
01.06.2006
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| Subjects | |
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| Abstract | Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III‐V‐Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein großer Bedarf hinsichtlich der Optimierung bestehender Verfahren bzw. der Untersuchung des Potenzials von neuen Prozessen, beispielsweise durch den Einsatz von alternativen Prekursoren. Ziel ist es dabei, eine Verbesserung der Qualität der abgeschiedenen kristallinen Schichten zu erhalten. Hierbei spielt in mehrfacher Hinsicht die numerische Simulation eine zunehmende Rolle. Zum einen lassen sich auf diesem Wege wichtige Prozessparameter vorab berechnen, vorausgesetzt die dem Prozess zugrunde liegenden physikalischen und chemischen Vorgänge lassen sich hinreichend genau quantifizieren. Zum anderen bietet die numerische Simulation Ansätze, die zu einem tieferen Verständnis dieser physikalischen und chemischen Vorgänge führen können. |
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| AbstractList | Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III‐V‐Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Daher besteht ein großer Bedarf hinsichtlich der Optimierung bestehender Verfahren bzw. der Untersuchung des Potenzials von neuen Prozessen, beispielsweise durch den Einsatz von alternativen Prekursoren. Ziel ist es dabei, eine Verbesserung der Qualität der abgeschiedenen kristallinen Schichten zu erhalten. Hierbei spielt in mehrfacher Hinsicht die numerische Simulation eine zunehmende Rolle. Zum einen lassen sich auf diesem Wege wichtige Prozessparameter vorab berechnen, vorausgesetzt die dem Prozess zugrunde liegenden physikalischen und chemischen Vorgänge lassen sich hinreichend genau quantifizieren. Zum anderen bietet die numerische Simulation Ansätze, die zu einem tieferen Verständnis dieser physikalischen und chemischen Vorgänge führen können. |
| Author | Brenner, G. Mukinovic, M. Khanderi, J. Tafipolsky, M. Schmid, R. Fischer, R. A. Mesic, E. |
| Author_xml | – sequence: 1 givenname: G. surname: Brenner fullname: Brenner, G. email: Gunther.Brenner@tu‐clausthal.de – sequence: 2 givenname: M. surname: Mukinovic fullname: Mukinovic, M. – sequence: 3 givenname: E. surname: Mesic fullname: Mesic, E. – sequence: 4 givenname: R. surname: Schmid fullname: Schmid, R. – sequence: 5 givenname: M. surname: Tafipolsky fullname: Tafipolsky, M. – sequence: 6 givenname: J. surname: Khanderi fullname: Khanderi, J. – sequence: 7 givenname: R. A. surname: Fischer fullname: Fischer, R. A. |
| BookMark | eNqlj71uwkAQhE-ISJiQNvW9gMneESwoEXJ-ilShSHdamU18yXlt3Z5FzNMHJMQLpBp9mpnim6oxt0xK3RuYGwD7UPlEcwuwBDBFMVKZWVqb2-IRxioDgHVuV8XHRE1Fvk-4OtWZqkrP-o3qKD8YiJEF01Ef-6i5byh6qWpi_e6bPmDyLeue93rDGAYhvaeoG0oYQhu_kC_jZ5SuRiGmzif89TRTN58YhO4ueavWT-Vu-5IffKDBddE3GAdnwJ093NnDXT3c9nVXXmnxn-8f47ZaRQ |
| ContentType | Journal Article |
| Copyright | Copyright © 2006 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim |
| Copyright_xml | – notice: Copyright © 2006 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim |
| DOI | 10.1002/cite.200500166 |
| DatabaseTitleList | |
| DeliveryMethod | fulltext_linktorsrc |
| Discipline | Medicine Engineering Chemistry |
| EISSN | 1522-2640 |
| EndPage | 688 |
| ExternalDocumentID | CITE200500166 |
| Genre | article |
| GroupedDBID | .3N .GA .Y3 05W 0R~ 10A 1L6 1OB 1OC 1ZS 29B 31~ 33P 3SF 3WU 4.4 4ZD 50Y 50Z 51W 51X 52M 52N 52O 52P 52S 52T 52U 52W 52X 53G 5GY 5VS 66C 6J9 6OB 6P2 702 7PT 8-0 8-1 8-3 8-4 8-5 8UM 930 A03 AAESR AAEVG AAHHS AANLZ AAONW AASGY AAXRX AAZKR ABCQN ABCUV ABIJN ABPPZ ABTAH ACAHQ ACBWZ ACCFJ ACCZN ACGFS ACPOU ACSCC ACXBN ACXQS ADBBV ADEOM ADIZJ ADKYN ADMGS ADOZA ADZMN ADZOD AEEZP AEIGN AEIMD AENEX AEQDE AEUQT AEUYR AFBPY AFFNX AFFPM AFGKR AFPWT AFZJQ AHBTC AI. AITYG AIURR AIWBW AJBDE AJXKR ALAGY ALMA_UNASSIGNED_HOLDINGS ALUQN AMBMR AMYDB ASPBG ATUGU AUFTA AVWKF AZBYB AZFZN AZVAB BAFTC BDRZF BFHJK BHBCM BLYAC BMNLL BNHUX BROTX BRXPI BY8 CS3 D-E D-F DCZOG DPXWK DR1 DR2 DRFUL DRSTM EBS EJD F00 F01 F04 FEDTE G-S G.N GNP GODZA H.T H.X HF~ HGLYW HHY HVGLF HZ~ IX1 J0M JPC KQQ LATKE LAW LC2 LC3 LEEKS LH4 LH6 LITHE LOXES LP6 LP7 LUTES LW6 LYRES MEWTI MK4 MRFUL MRSTM MSFUL MSSTM MXFUL MXSTM N04 N05 N9A NDZJH NF~ O66 O9- OIG P2P P2W P2X P4D PALCI Q.N Q11 QB0 QRW R.K RBB RIWAO RJQFR ROL RWI RX1 SAMSI SUPJJ UB1 V2E VH1 W8V W99 WBFHL WBKPD WIB WIH WIK WOHZO WQJ WRC WSB WXSBR WYISQ XG1 XV2 ZY4 ZZTAW ~IA ~WT |
| ID | FETCH-wiley_primary_10_1002_cite_200500166_CITE2005001663 |
| IEDL.DBID | DR2 |
| ISSN | 0009-286X |
| IngestDate | Sat Aug 24 00:59:25 EDT 2024 |
| IsPeerReviewed | true |
| IsScholarly | true |
| Issue | 6 |
| Language | English |
| LinkModel | DirectLink |
| MergedId | FETCHMERGED-wiley_primary_10_1002_cite_200500166_CITE2005001663 |
| PageCount | 10 |
| ParticipantIDs | wiley_primary_10_1002_cite_200500166_CITE200500166 |
| PublicationCentury | 2000 |
| PublicationDate | June, 2006 |
| PublicationDateYYYYMMDD | 2006-06-01 |
| PublicationDate_xml | – month: 06 year: 2006 text: June, 2006 |
| PublicationDecade | 2000 |
| PublicationPlace | Weinheim |
| PublicationPlace_xml | – name: Weinheim |
| PublicationTitle | Chemie ingenieur technik |
| PublicationYear | 2006 |
| Publisher | WILEY‐VCH Verlag |
| Publisher_xml | – name: WILEY‐VCH Verlag |
| References | 2004; 21 1990; 249 2001 2000; 6 2000; 13 1993; 98 1988; 37 2000; 217 1988; 38 2003; 9 1999; 110 2005; 109 1991; 91 2005; 11 1999; 9 1998; 35 |
| References_xml | – volume: 13 start-page: 697 year: 2000 publication-title: Proc. Electrochem. Soc. – volume: 217 start-page: 65 year: 2000 publication-title: J. Cryst. Growth – volume: 98 start-page: 5648 year: 1993 publication-title: J. Chem. Phys. – volume: 9 start-page: 272 year: 2003 publication-title: Chem. Vap. Deposition – volume: 6 start-page: 245 year: 2000 publication-title: Chem. Vap. Deposition – volume: 11 start-page: 307 year: 2005 publication-title: Chem. Vap. Deposition – volume: 110 start-page: 7667 year: 1999 publication-title: J. Chem. Phys – volume: 38 start-page: 3098 year: 1988 publication-title: Phys. Rev. A – volume: 249 start-page: 491 year: 1990 publication-title: Science – volume: 35 start-page: 117 year: 1998 publication-title: Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. – volume: 21 start-page: 42 year: 2004 publication-title: Comp. Mat. Sci. – volume: 91 start-page: 651 year: 1991 publication-title: Chem. Rev. – start-page: 911 year: 2001 publication-title: Chem. Commun. – volume: 9 start-page: 589 year: 1999 publication-title: J. Phys. IV – volume: 109 start-page: 2623 year: 2005 publication-title: J. Phys. Chem. A – volume: 37 start-page: 785 year: 1988 publication-title: Phys. Rev. B |
| SSID | ssj0008152 |
| Score | 3.3918488 |
| Snippet | Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von... |
| SourceID | wiley |
| SourceType | Publisher |
| StartPage | 679 |
| SubjectTerms | Gasphasenreaktionen Halbleiter Prekursoren Simulation |
| Title | Ein Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie |
| URI | https://onlinelibrary.wiley.com/doi/abs/10.1002%2Fcite.200500166 |
| Volume | 78 |
| hasFullText | 1 |
| inHoldings | 1 |
| isFullTextHit | |
| isPrint | |
| link | http://utb.summon.serialssolutions.com/2.0.0/link/0/eLvHCXMwpZ3JasMwEIaHkkOXQ5e0pTs69OrEtmzHPhY3aSikhy6Qm5FkmZgQNXiB4qevx8raW9ujwRIakDSjkf5vAO49VLoGLjOExUzDkR4zOOeJIaTN3foAzZIY9c6jF2_44TyP3fGGil_zIVYJN1wZzX6NC5zxvLuGhopUYy5djFqQuW3RHr7penxd86N8XXIHAwnD9r3xktpo2t3t5tuhaeNbBkfAlqPST0qmnbLgHVH9ADb-Z9jHcLgIPMmDniknsCNVG_bCZb23NhxsoAnbsDtaXLqfguiniozkJMuntTdRWF-8qEhVZkSheDOtz8dSkbd0tqgERkoVEw07kSSWGZnJAq_3G9Wn_vmJ5fNJ7T-VxKIlX6k8g2DQfw-HRmNUNNcMjEjTju0IzYlW5kRhvd-uvug5tNSnkhdALBozk9HE94TlxEESeMJPaEyFHzimoL1LsH_f_9VfGl3Dvs6iYCLlBlpFVsrbOq4o-F0zd74BxZvLWw |
| link.rule.ids | 315,783,787,1378,27936,27937,46306,46730 |
| linkProvider | Wiley-Blackwell |
| linkToHtml | http://utb.summon.serialssolutions.com/2.0.0/link/0/eLvHCXMwpV3PT8IwFH5RTEQP_kCNv-3B62Cs29yOBkFUxkEx4basXRcWQiVjSwx_vXsrA_GmHpu0TV_S1_f62u_7AG5tRLq6VqDxZqBrprADjTEWaVwYzMov0EEUIt7Z69vdd_N5aJW_CRELo_ghlgU39IzivEYHx4J0Y8UaymPFc2lh2mJvwlbu8xTVGx5eVwxSjhLdwVRCMxx7WPI26kZjffx6clpEl84-sHJd6lPJuJ6lrM7nPygb_7XwA9hb5J7kXm2WQ9gQsgbVVin5VoPdb-yENdj2Fu_uR8DbsSSeGCWzcR5QJEqMp3MyzxIiEb8Z51dkIclbPFmIgZFMhkTxnQgSioRMRIov_AXwU3V-DGbTUR5CpUDdks9YHIPbaQ9aXa2wyp8qGgxfER4bPprjL83xW_mRu2zRE6jIDylOgTRpGOgBjRybN83QjVybOxENKXdcU-f07gyM389__pdBN1DtDrye33vqv1zAjiqqYF3lEippkomrPM1I2XWxkb4AfF7Pcw |
| linkToPdf | http://utb.summon.serialssolutions.com/2.0.0/link/0/eLvHCXMwpV3JTsMwFHyCIhU4sAQQOz5wTZtmMckRlZaytEIsUm6RYztqVNVUaSKhfj123JUbcLQUR36S7Td-9swAXGPFdA08YtIGsUyXY2LGcZyYlNuxJw_QJGGK79zt4c6H-xh64RKLX-tDzAtuamWU-7Va4COW1BeioTTVMpeeQi14HTZcLOGvgkWvCwEpX3vuKCRh2j4OZ7KNll1f7b-KTcvk0t4FMhuWflMyqBV5XKOTH4qN_xn3HuxMkSe61VNlH9a4MGCzOTN8M2B7SZvQgGp3eut-ALSVCtTl_Ww8kOlEKIPxfIImRYaEYm-m8oDMBXpLh1MrMFQIhrTaCUeMZ2jIc3W_X9I-9cf3ZDzqywQquHIt-Ur5IQTt1nuzY5ZBRSMtghFpuWM7UuFE83Ciptxw5y3nCCriU_BjQA2HEYs4iY9pw2VBEmDqJw5zqB-4FnVuTsD-_f9P_9LpCqovd-3o-aH3dAZbuqKiiirnUMmzgl9IjJHHl-U0-gZBD84i |
| openUrl | ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info%3Aofi%2Fenc%3AUTF-8&rfr_id=info%3Asid%2Fsummon.serialssolutions.com&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal&rft.genre=article&rft.atitle=Ein+Mehrskalenansatz+zur+numerischen+Simulation+und+Analyse+der+metallorganischen+Gasphasenepitaxie&rft.jtitle=Chemie+ingenieur+technik&rft.au=Brenner%2C+G.&rft.au=Mukinovic%2C+M.&rft.au=Mesic%2C+E.&rft.au=Schmid%2C+R.&rft.date=2006-06-01&rft.pub=WILEY%E2%80%90VCH+Verlag&rft.issn=0009-286X&rft.eissn=1522-2640&rft.volume=78&rft.issue=6&rft.spage=679&rft.epage=688&rft_id=info:doi/10.1002%2Fcite.200500166&rft.externalDBID=10.1002%252Fcite.200500166&rft.externalDocID=CITE200500166 |
| thumbnail_l | http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/lc.gif&issn=0009-286X&client=summon |
| thumbnail_m | http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/mc.gif&issn=0009-286X&client=summon |
| thumbnail_s | http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/sc.gif&issn=0009-286X&client=summon |