一种基于金阴极MCP的冷阴极电子源的研制

O657.63%O462.3; 采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点,将其应用于电子轰击离子源(EI)有助于获得高质量的离子源.本实验分别采用在JGS2 石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板(MCP)输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极,将二者以不同的组合方式装配在一起,通过施加不同的间隙电压,从而获得较大范围的电子流输出,研制出电子束流可调(10-11~10-5 A)、均匀分布(非均匀度6.5%)的稳定输出(稳定工作时间大于5 h)电子源,有望在高质量EI源中得到推广和应用....

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Published in质谱学报 Vol. 44; no. 1; pp. 96 - 前插5
Main Authors 姚文静, 刘术林, 闫保军, 张斌婷, 韦雯露, 彭华兴, 杨玉真
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院大学物理科学学院,北京 100049%上海中医药大学针灸推拿学院,上海 201203 2023
河南大学物理与电子学院,河南 开封 475004%中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室,北京 100049
中国科学院大学核科学与技术学院,北京 100049%中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室,北京 100049%中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室,北京 100049
Subjects
深紫外
电子源
电子束流
金阴极
微通道板(MCP)
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ISSN1004-2997
DOI10.7538/zpxb.2022.0004

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Summary:O657.63%O462.3; 采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点,将其应用于电子轰击离子源(EI)有助于获得高质量的离子源.本实验分别采用在JGS2 石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板(MCP)输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极,将二者以不同的组合方式装配在一起,通过施加不同的间隙电压,从而获得较大范围的电子流输出,研制出电子束流可调(10-11~10-5 A)、均匀分布(非均匀度6.5%)的稳定输出(稳定工作时间大于5 h)电子源,有望在高质量EI源中得到推广和应用.
ISSN:1004-2997
DOI:10.7538/zpxb.2022.0004