水平液相外延设备控制系统研究与设计

TN304.055; 液相外延(LPE)是制备碲镉汞(HgCdTe)薄膜的主流工艺技术,也是HgCdTe红外焦平面器件制造的最关键工序,目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运.为了实现LPE设备的国产替代,我们对设备进行研究,设计了 一套满足高精度温度控制、工艺压力控制、自动拉舟等要求的控制系统,并详细介绍了该控制系统下位机和上位机软件的设计思路,并给出了相关的设计流程图....

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Published in中国集成电路 Vol. 31; no. 9; pp. 65 - 70
Main Authors 罗臻, 林伯奇
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国电子科技集团公司第四十八研究所 2022
Subjects
控制系统
监控软件
水平液相外延
温度控制
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Summary:TN304.055; 液相外延(LPE)是制备碲镉汞(HgCdTe)薄膜的主流工艺技术,也是HgCdTe红外焦平面器件制造的最关键工序,目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运.为了实现LPE设备的国产替代,我们对设备进行研究,设计了 一套满足高精度温度控制、工艺压力控制、自动拉舟等要求的控制系统,并详细介绍了该控制系统下位机和上位机软件的设计思路,并给出了相关的设计流程图.
ISSN:1681-5289
DOI:10.3969/j.issn.1681-5289.2022.09.010