940nm VCSEL高折射率对比度亚波长光栅反射镜的设计

O472%O+.8; 研究了一种940 nm GaAs基VCSEL的高折射率对比度亚波长光栅反射镜(HCG),采用GaAs/AlOx光栅结构,讨论了TE偏振时光栅结构中各参数对反射光谱的作用规律,分析TE、TM不同偏振时反射镜的结构特点,及形貌误差对高反射带的影响.设计的TE-HCG的高反射带中心为940 nm,在0.888～0.985μm波长范围内,TE波反射率大于99.5％,TM波反射率低于90％,高反射带宽97 nm,Δλ/λ0>10％.该反射镜可以与VCSEL采用一次性外延生长技术制作,且具有结构简单,制作容差大,且偏振稳定的优势,不仅有利于改善器件性能,且大大降低VCSEL的制...

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Published in红外与毫米波学报 Vol. 40; no. 6; pp. 834 - 839
Main Authors 罗妍, 郝永芹, 晏长岭
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林长春 130022 2021
Subjects
高折射率对比度;亚波长光栅;垂直腔面发射激光器;严格耦合波理论
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Summary:O472%O+.8; 研究了一种940 nm GaAs基VCSEL的高折射率对比度亚波长光栅反射镜(HCG),采用GaAs/AlOx光栅结构,讨论了TE偏振时光栅结构中各参数对反射光谱的作用规律,分析TE、TM不同偏振时反射镜的结构特点,及形貌误差对高反射带的影响.设计的TE-HCG的高反射带中心为940 nm,在0.888～0.985μm波长范围内,TE波反射率大于99.5％,TM波反射率低于90％,高反射带宽97 nm,Δλ/λ0>10％.该反射镜可以与VCSEL采用一次性外延生长技术制作,且具有结构简单,制作容差大,且偏振稳定的优势,不仅有利于改善器件性能,且大大降低VCSEL的制作难度和成本.
ISSN:1001-9014
DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2021.06.018