激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展

激光诱导击穿光谱微区分析通常是指利用紧聚焦激光束在微米尺度范围对样品表面进行分析的技术.相比于常规激光诱导击穿光谱分析,微区分析可以在更小范围、更少样品的情况下提供更加被分析样品丰富的形态、结构、含量信息,因而应用领域广泛.本文介绍了激光诱导击穿光谱微区分析在激光源选择以及光路系统结构方面的应用状况,综述了其在金属、半导体、动植物等领域的应用研究进展,讨论了目前存在的问题,对发展前景和发展方向进行了展望....

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Published in分析化学 Vol. 46; no. 10; pp. 1518 - 1527
Main Authors 孙兰香, 汪为, 田雪咏, 张鹏, 齐立峰, 郑黎明
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院机器人与智能制造创新研究院,沈阳110016 2018
中国科学院网络化控制系统重点实验室,沈阳110016%中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳110016
中国科学院网络化控制系统重点实验室,沈阳110016
中国科学院大学,北京100049%新松机器人自动化股份有限公司中央研究院,沈阳,110168
中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳110016
Subjects
烧蚀弹坑
微区分析
偏析
评述
激光诱导击穿光谱
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ISSN0253-3820
DOI10.11895/j.issn.0253-3820.181150

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Summary:激光诱导击穿光谱微区分析通常是指利用紧聚焦激光束在微米尺度范围对样品表面进行分析的技术.相比于常规激光诱导击穿光谱分析,微区分析可以在更小范围、更少样品的情况下提供更加被分析样品丰富的形态、结构、含量信息,因而应用领域广泛.本文介绍了激光诱导击穿光谱微区分析在激光源选择以及光路系统结构方面的应用状况,综述了其在金属、半导体、动植物等领域的应用研究进展,讨论了目前存在的问题,对发展前景和发展方向进行了展望.
ISSN:0253-3820
DOI:10.11895/j.issn.0253-3820.181150