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• Published in: Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 12; no. 3; pp. 199 - 204
• Main Authors: Wilfert, St, Kauert, R, Edelmann, Chr
• Format: Journal Article
• Language: English
• Published: 01.06.2000
• Subjects: Collisions; Constants; Construction equipment; Elastic scattering; Electric fields; Electrodes; Electronic equipment; Mathematical analysis
• ISSN: 0947-076X; 1522-2454
• DOI: 10.1002/1522-2454(200006)12:3<199::AID-VIPR199>3.0.CO;2-N

In the rough and partly in the medium vacuum range collisions and scattering processes of electrons with gas particles influence the motion of slow electrons in an electric field between anode and cathode significantly. After a sufficient number of elastic collisions the electrons move nearly randomly in the electric field with a mean constant drift velocity to their collecting electrode. Using a suitable electrode configuration these interaction processes between electrons and gas particles can be used for the pressure measurement in the upper vacuum pressure range. A gauge construction using this principle is characterised by of a simple electrode structure and electronic equipment. Experimental investigations and numerical calculations are described in this paper.Original Abstract: Im Grob- und zum Teil auch im Feinvakuumbereich wird die Bewegung langsamer Elektronen im elektrischen Feld zwischen Anode und Kathode durch zahlreiche elastische Stosprozesse mit Gasteilchen beeinflusst. Der gerichteten Bewegung der Elektronen im elektrischen Feld ueberlagert sich dabei eien zufaellige, ungerichtete Bewegung. Nach hinreichend vielen Zusammenstosen bewegen sich die Elektronen mit einer mittleren konstanten Driftgeschwindigkeit zu ihrer Auffangelektrode. Unter Verwendung einer geeigneten Elektrodengeometrie laesst sich dieser Wechselwirkungsmechanismus zwischen Elektronen und Gasteilchen zur Druckmessung im oberen Vakuumdruckbereich ausnutzen. Eine nach diesem Prinzip arbeitende Messrohre zeichnet sich durch einen sehr einfachen Aufbau und eine simple Elektronik aus. Experimentelle Untersuchungen und numerische Berechnungen zu dieser Problematik werden im Rahmen dieser Arbeit vorgestellt.