18th International Conference on Plasma Surface Engineering Changes and Trends“ – neue Herausforderungen für die Plasma‐Oberflächen‐Technologie

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Published inVakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 34; no. 2; p. 3
Main Author Ferse, Katrin
Format Journal Article
LanguageEnglish
Published Weinheim Wiley Subscription Services, Inc 01.04.2022
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ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.202270201