반도체 CVD 공정용 모터의 고속화 및 토크리플 저감을 위한 설계
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Published in | 전기학회논문지 P Vol. 71P; no. 4; pp. 255 - 261 |
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Main Authors | , , , |
Format | Journal Article |
Language | Korean |
Published |
대한전기학회
2022
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Subjects | |
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ISSN: | 1229-800X 2586-7792 |
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DOI: | 10.5370/KIEEP.2022.71.4.255 |