유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering에 의한 평판디스플레이(FPD)용 ITO 박막의 저온 증착

KCI Citation Count: 6

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Published in한국표면공학회지, 37(3) pp. 146 - 151
Main Authors 이정중, 주정훈, 구범모, 정승재, 한영훈
Format Journal Article
LanguageKorean
Published 한국표면공학회 01.06.2004
Subjects
기계공학
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ISSN1225-8024
2288-8403

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Summary:KCI Citation Count: 6
Bibliography:G704-000261.2004.37.3.001
ISSN:1225-8024
2288-8403