Pulvermetallurgisch hergestellte Sputtertargets

Saved in:
Bibliographic Details
Published inVakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Vol. 24; no. 5; pp. 34 - 38
Main Authors Adelhelm, Christoph, Winkler, Jörg, Linke, Christian, Franzke, Enrico, Köstenbauer, Harald
Format Journal Article
LanguageGerman
Published Weinheim WILEY-VCH Verlag 01.10.2012
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Bibliography:istex:6CEB451B0C9946D4F0533478FBD61926746BE33D
ArticleID:VIPR201200501
ark:/67375/WNG-9NKJK0TV-8
ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.201200501