SCINTILLATOR PANEL, RADIATION IMAGE SENSOR, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

• Main Authors: HOMME, TAKUYA, SATO, HIROTO, TAKABAYASHI, TOSHIO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 23.12.1999
• Edition: 6
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES; IRRADIATION DEVICES; MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION; MEASURING; NUCLEAR ENGINEERING; NUCLEAR PHYSICS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR; TESTING

A scintillator (12) having a columnar structure for converting incident radiation into visible light is provided on one side of an aluminum-made base (10) of a scintillator panel (2). All over the surface of the base (10) and the scintillator (12), a first polyparaxylene film (14) is formed. An SiO2 film (16) is formed on the polyparaxylene film (14) on the scintillator (12) side. A second polyparaxylene film (18) is formed on the SiO2 film (16) and the polyparaxylene film (14) on the base (10) side, that is, the whole scintillator is covered with the second polyparaxylene film (18). La présente invention concerne un scintillateur (12) doté d'une structure en colonnes capable de transformer un rayonnement incident en lumière visible, et qui est formé sur un côté de la base en aluminium (10) d'un panneau (2) de scintillateur. La surface de la base (10) et la surface du scintillateur (12) sont entièrement recouvertes d'une première pellicule de polyparaxylène (14). Une couche de SiO2 (16) est déposée sur la pellicule de polyparaxylène (14), du côté du scintillateur (12). Une deuxième pellicule de polyparaxylène (18) est formée sur la couche de SiO2 (16) et sur la pellicule de polyparaxylène (14) du côté de la base (10), c'est-à-dire que le scintillateur est entièrement recouvert d'une deuxième pellicule de polyparaxylène (18).