TARGET CATHODE ASSEMBLY

• Main Authors: ERBKAMM, WOLFGANG, STRUEMPFEL, JOHANNES, GEHM, KLAUS, HECHT, HANSRISTIAN, DIMER, MARTIN, SCHULZE, DIETMAR
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 28.01.1999
• Edition: 6
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Der Erfindung, die eine Targetkathodenanordnung mit einem Target betrifft, das im laufenden Betrieb einen Erosionsgraben ausbildet, wobei unter dem Target Trageelemente, ein Kühlsystem und ein Magnetsystem angeordnet ist, welches eine auf der dem Target gegenüberliegenden Seite der Targetkathodenanordnung angeordnete Rückschlussplatte beinhaltet, liegt die Aufgabe zugrunde, Bogenentladungen an der Targetkathodenanordnung oder bei einer benachbarten Anordnung zweier Targetkathodenanordnungen zwischen diesen zu vermeiden. Dies wird dadurch gelöst, dass die Targetkathodenanordnung mit einer Umhüllung aus weichmagnetischem Material versehen ist, die die Aussenfläche der Targetkathodenanordnung unter Freilassung der aktiven Targetoberfläche zumindest teilweise bedeckt und mit der Targetkathodenanordnung elektrisch verbunden ist. The invention concerns a target cathode assembly with a target which produces an erosion trench during operation. Under the target support elements, are a cooling system and a magnetic system comprised of a return locking plate which is located on the side of the target cathode assembly opposite the target. The function of the invention is to avoid arc discharge on the target cathode assembly or between a neighboring assembly and target cathode assemblies. This is achieved by fitting the target cathode assembly with a soft magnetic material. Said material partially covers the exterior surface of the target cathode assembly during the exposure of the active target surface and is electrically connected to the target cathode assembly. L'invention concerne un ensemble cathode cible comportant une cible dans laquelle, pendant le fonctionnement habituel, est formée une tranchée d'érosion. Sous cette cible, sont disposés des éléments de support, un système de refroidissement et un système magnétique qui contient une plaque de fermeture arrière placée sur le coté opposé à la cible de l'ensemble cathode cible. L'objectif de l'invention est d'éviter des décharges en arc au niveau de l'ensemble cathode cible ou entre deux tels ensembles placés l'un à coté de l'autre. Cet objectif est atteint par le fait que l'ensemble cathode cible est pourvu d'une enveloppe en matériau magnétique doux, enveloppe qui recouvre au moins partiellement la surface de l'ensemble cathode cible en laissant à nu la surface cible active, et qui est reliée électriquement à l'ensemble cathode cible.