METHOD AND DEVICE FOR CLEANING AND ACTIVATING ELECTRICALLY CONDUCTIVE STRUCTURES AND CIRCUIT BOARDS
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen oder Aktivieren elektrisch leitender, strukturierter Schichten. Erfindungsgemäss wird vorgeschlagen, dass hierzu eine dielektrisch behinderte Entladung verwendet wird. The invention relates to a method for cleaning or activating electrically conducti...
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Format | Patent |
Language | English French German |
Published |
05.11.1998
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Edition | 6 |
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Summary: | Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen oder Aktivieren elektrisch leitender, strukturierter Schichten. Erfindungsgemäss wird vorgeschlagen, dass hierzu eine dielektrisch behinderte Entladung verwendet wird.
The invention relates to a method for cleaning or activating electrically conductive structured layers. According to the invention, a dielectrically impeded discharge is used for this purpose.
L'invention concerne un procédé pour le nettoyage ou l'activation de couches électroconductrices structurées. Selon l'invention, il est prévu d'utiliser à cet effet une décharge inhibée diélectriquement. |
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Bibliography: | Application Number: WO1998DE01141 |