DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM OF ADJUSTABLE ENERGY, PARTICULARLY FOR THE CONTINUOUS VACUUM PROCESSING OF LARGE SURFACES

• Main Authors: ROY, VERONIQUE, WARTSKI, LOUIS, SCHWEBEL, CHRISTIAN
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 18.01.1996
• Edition: 6
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Device for generating an ion beam, particularly for the continuous processing of large surfaces, comprising an ionising chamber with a gas being fed thereinto to be acted upon by a high frequency alternating electrical field, extraction optics capable of extracting ions from said ionising chamber and generating an ion beam from the device, and excitation means capable of creating the high frequency alternating electrical field within said ionising chamber through connection, by a waveguide, to a microwave generator. Said excitation means include a conductive enclosure (7) engaging one wall (1b) of said ionising chamber (1), wherein the inner space of said casing (7) is divided into a first portion (8), opposite the ionising chamber (1), to which the waveguide (10) is connected, and a second portion (9), adjacent the ionising chamber (1), in which cylindrical conductive cavities are uniformly distributed, with each cavity comprising an adjusting means for adjusting the amount of microwave energy passing through said cavity. Dispositif pour créer un faisceau d'ions notamment pour le traitement au défilé de surfaces de grandes dimensions, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour y subir l'action d'un champ électrique alternatif à haute fréquence, une optique d'extraction apte à extraire des ions de la chambre d'ionisation et émettre un faisceau d'ions sortant du dispositif et des moyens d'excitation aptes à établir le champ électrique alternatif à haute fréquence à l'intérieur de la chambre d'ionisation, en étant raccordés par un guide d'ondes à un générateur de micro-ondes. Lesdits moyens d'excitation comprennent un caisson conducteur (7) accolé à une paroi (1b) de la chambre d'ionisation (1), l'intérieur de ce caisson (7) étant divisé en une première partie (8), opposée à la chambre d'ionisation (1), dans laquelle débouche le guide d'ondes (10) et une seconde partie (9), adjacente à la chambre d'ionisation (1), dans laquelle sont régulièrement réparties des cavités conductrices cylindriques, chaque cavité comportant un organe de réglage apte à ajuster la quantité d'énergie micro-onde traversant ladite cavité.