SYSTEM AND METHOD FOR WATER IMMERSION OBJECTIVE BUBBLE DETECTION

• Main Authors: HOULE, Christopher, STILES, Matthew Arthur, KNIGHT, Benjamin, PIETTE, James Donald
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.06.2025
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

Systems and methods for efficiently detecting whether an air bubble is present in an immersion liquid between a liquid immersion objective and a body are provided. For example, an automated imaging system including a liquid immersion objective, a light source configured to emit a first light to a body via the liquid immersion objective in a state in which an immersion liquid is on the liquid immersion objective between the liquid immersion objective and the body, wherein the body is configured to hold a sample, a first sensor configured to receive a first signal based on the first light, after the first light arrives at the body via the liquid immersion objective, and a controller configured to detect whether an air bubble is present in the immersion liquid between the liquid immersion objective and the body based on the first signal received by the first sensor. L'invention concerne des systèmes et des procédés pour détecter efficacement si une bulle d'air est présente dans un liquide d'immersion entre un objectif d'immersion dans un liquide et un corps. Par exemple, un système d'imagerie automatisé comprenant un objectif d'immersion dans un liquide, une source de lumière configurée pour émettre une première lumière vers un corps par l'intermédiaire de l'objectif d'immersion dans un liquide dans un état dans lequel un liquide d'immersion est sur l'objectif d'immersion dans un liquide entre l'objectif d'immersion dans un liquide et le corps, le corps étant configuré pour contenir un échantillon, un premier capteur configuré pour recevoir un premier signal sur la base de la première lumière, après que la première lumière arrive au niveau du corps par l'intermédiaire de l'objectif d'immersion dans un liquide, et un dispositif de commande configuré pour détecter si une bulle d'air est présente dans le liquide d'immersion entre l'objectif d'immersion dans un liquide et le corps sur la base du premier signal reçu par le premier capteur.