COMPUTER PROGRAM, INFORMATION PROCESSING DEVICE, AND INFORMATION PROCESSING METHOD

• Main Author: OKA, Shinsuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.10.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTROLLING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES

Provided are a computer program, an information processing device, and an information processing method capable of determining an offset value relative to a set temperature of a refrigerant in consideration of the intrinsic thermal resistance of a device and the different heat flux for each step of a process recipe.　The present invention causes a computer to execute, for a substrate processing apparatus comprising a substrate placement table and a cooling base that cools the substrate placement table by means of a refrigerant supplied from a cooling device, processes for: acquiring temperature data indicating the temperature of a substrate placed on the substrate placement table and temperature data indicating the temperature of the refrigerant; calculating the thermal resistance of a heat conduction portion on a heat transfer path from the substrate to the refrigerant on the basis of the acquired temperature data indicating the temperature of the substrate and the acquired temperature data indicating the temperature of the refrigerant; calculating the heat flux to the substrate in each step of a process recipe for determining the substrate processing to be performed on the substrate; and calculating an offset value to be added to the set temperature of the refrigerant for each step on the basis of the calculated thermal resistance and the heat flux. Sont proposés un programme informatique, un dispositif de traitement d'informations, et un procédé de traitement d'informations, aptes à déterminer une valeur de décalage par rapport à une température définie d'un fluide frigorigène en fonction de la résistance thermique intrinsèque d'un dispositif et du flux de chaleur différent pour chaque étape d'une recette de traitement.　La présente invention amène un ordinateur à exécuter, pour un appareil de traitement de substrat comprenant une table de placement de substrat et une base de refroidissement qui refroidit la table de placement de substrat au moyen d'un fluide frigorigène fourni par un dispositif de refroidissement, des procédés consistant à : acquérir des données de température indiquant la température d'un substrat placé sur la table de placement de substrat, et des données de température indiquant la température du fluide frigorigène ; calculer la résistance thermique d'une partie de conduction de chaleur sur un trajet de transfert de chaleur du substrat au fluide frigorigène sur la base des données de température acquises indiquant la température du substrat et des données de température acquises indiquant la température du fluide frigorigène ; calculer le flux de chaleur sur le substrat à chaque étape d'une recette de traitement pour déterminer le traitement de substrat devant être effectué sur le substrat ; et calculer une valeur de décalage devant être ajoutée à la température définie du fluide frigorigène pour chaque étape sur la base de la résistance thermique calculée et du flux de chaleur. 装置固有の熱抵抗やプロセスレシピのステップ毎に異なる熱流束を考慮して、冷媒の設定温度に対するオフセット値を決定できるコンピュータプログラム、情報処理装置、及び情報処理方法の提供。　基板載置台と、冷却装置から供給される冷媒によって基板載置台を冷却する冷却基台とを備える基板処理装置に関して、基板載置台に載置される基板の温度を示す温度データと、冷媒の温度を示す温度データとを取得し、取得した基板の温度を示す温度データと冷媒の温度を示す温度データとに基づき、基板から冷媒に至る伝熱経路上の熱伝導部位の熱抵抗を算出し、基板に施すべき基板処理を定めるプロセスレシピのステップ毎に、基板への熱流束を算出し、算出した熱抵抗と熱流束とに基づき、ステップ毎に、冷媒の設定温度に加算すべきオフセット値を算出する処理をコンピュータに実行させる。