PIEZOELECTRIC VIBRATION ELEMENT

This piezoelectric vibration element (10) comprises a piezoelectric piece (11) and an excitation electrode (14a) that overlap in the thickness direction. The piezoelectric vibration element (10) has a high acoustic velocity region (17) and a low acoustic velocity region (18) that has a lower acousti...

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Main Author NISHIMURA, Toshio
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 17.10.2024
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Summary:This piezoelectric vibration element (10) comprises a piezoelectric piece (11) and an excitation electrode (14a) that overlap in the thickness direction. The piezoelectric vibration element (10) has a high acoustic velocity region (17) and a low acoustic velocity region (18) that has a lower acoustic velocity than the high acoustic velocity region (17). The high acoustic velocity region (17) is provided in a region that overlaps a central portion of the excitation electrode (14a) in a plan view in the thickness direction. The low acoustic velocity region (18) includes a first low acoustic velocity region (18A) and a second low acoustic velocity region (18B) that are provided in regions that overlap end portions of the excitation electrode (14a) that surrounds the high acoustic velocity region (17) in a plan view in the thickness direction. In a first direction intersecting the thickness direction, the first low acoustic velocity region (18A) is adjacent to the high acoustic velocity region (17), and the second low acoustic velocity region (18B) is adjacent to the high acoustic velocity region (17) on the side opposite to the first low acoustic velocity region (18A). When the length of the excitation electrode (14a) in the first direction is Ea, the length of the first low acoustic velocity region (18A) in the first direction is Wa1, and the length of the second low acoustic velocity region (18B) in the first direction is Wa2, the relationships 0.20 ≤ Wa1/Ea, 0.20 ≤ Wa2/Ea, and 0.5 ≤ (Wa1 + Wa2)/Ea ≤ 0.96 are satisfied. La présente divulgation concerne un élément de vibration piézoélectrique (10) qui comprend une pièce piézoélectrique (11) et une électrode d'excitation (14a) qui se chevauchent dans la direction de l'épaisseur. L'élément de vibration piézoélectrique (10) a une région de vitesse acoustique élevée (17) et une région de vitesse acoustique faible (18) qui a une vitesse acoustique inférieure à celle de la région de vitesse acoustique élevée (17). La région de vitesse acoustique élevée (17) est disposée dans une région qui chevauche une partie centrale de l'électrode d'excitation (14a) dans une vue en plan dans la direction de l'épaisseur. La région à faible vitesse acoustique (18) comprend une première région à faible vitesse acoustique (18A) et une deuxième région à faible vitesse acoustique (18B) qui sont disposées dans des régions qui chevauchent des parties d'extrémité de l'électrode d'excitation (14a) qui entoure la région à vitesse acoustique élevée (17) dans une vue en plan dans la direction de l'épaisseur. Dans une première direction croisant la direction de l'épaisseur, la première région à faible vitesse acoustique (18A) est adjacente à la région à vitesse acoustique élevée (17), et la deuxième région à faible vitesse acoustique (18B) est adjacente à la région à vitesse acoustique élevée (17) sur le côté opposé à la première région à faible vitesse acoustique (18A). Lorsque la longueur de l'électrode d'excitation (14a) dans la première direction est Ea, la longueur de la première région à faible vitesse acoustique (18A) dans la première direction est Wa1, et la longueur de la deuxième région à faible vitesse acoustique (18B) dans la première direction est Wa2, les relations 0,20 ≤ Wa1/Ea, 0,20 ≤ Wa2/Ea, et 0,5 ≤ (Wa1 + Wa2)/Ea ≤ 0,96 sont satisfaites. 圧電振動素子(10)は、厚さ方向において重なる圧電片(11)及び励振電極(14a)を備える圧電振動素子(10)であって、高音速領域(17)と、高音速領域(17)よりも音速が小さい低音速領域(18)とを有し、高音速領域(17)は、厚さ方向での平面視において励振電極(14a)の中央部に重なる領域に設けられ、低音速領域(18)は、厚さ方向での平面視において、高音速領域(17)を囲む励振電極(14a)の端部に重なる領域に設けられた第1低音速領域(18A)及び第2低音速領域(18B)を含み、厚さ方向に交差する第1方向において、第1低音速領域(18A)は、高音速領域(17)に隣接し、第2低音速領域(18B)は、第1低音速領域(18A)とは反対側において高音速領域(17)に隣接し、励振電極(14a)の第1方向における長さをEa、第1低音速領域(18A)の第1方向における長さをWa1、第2低音速領域(18B)の第1方向における長さをWa2としたとき、0.20≦Wa1/Ea且つ、0.20≦Wa2/Ea且つ、0.5≦(Wa1+Wa2)/Ea≦0.96の関係が成り立つ。
Bibliography:Application Number: WO2023JP42073