PROCESS DIAGNOSIS AND DESIGN USING MULTIVARIATE MODEL

• Main Authors: MITTAL, Sushant, KOPPIKAR, Sandeep Rammohan, SAMANT, Sushil Arun, RAI, Vikrant, VIJAYAKUMAR, Vishnuvardhanan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.10.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; COMPUTING; COUNTING; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

One example provides a method for constructing a multivariate model that associates mechanistic model parameters with processing tool parameters. The method comprises receiving, at a computing system, input of measurements of a known pattern of features of a processed test substrate. The processed test substrate comprising the known pattern of features and film stack and having been processed by a baseline recipe comprising a set of processing tool parameters. The method further comprises, generating a modeled processed substrate comprising modeled feature profiles that substantially match the measurements received by providing the measurements to a mechanistic model, thereby determining a set of the mechanistic model parameters corresponding to the modeled feature profiles. The method further comprises constructing the multivariate model using data that relates the set of mechanistic model parameters to the set of processing tool parameters based on the modeled feature profiles and the measurements. Un exemple concerne un procédé permettant de construire un modèle à variables multiples qui associe des paramètres de modèle mécanique à des paramètres d'outil de traitement. Le procédé consiste à recevoir, au niveau d'un système informatique, une entrée de mesures d'un motif connu de caractéristiques d'un substrat de test traité. Le substrat de test traité comprend le motif connu de caractéristiques et l'empilement de films et a été traité par une recette de base comprenant un ensemble de paramètres d'outil de traitement. Le procédé consiste également à générer un substrat traité modélisé comprenant des profils de caractéristiques modélisés qui correspondent sensiblement aux mesures reçues en fournissant les mesures à un modèle mécaniste, ce qui permet de déterminer un ensemble des paramètres de modèle mécaniste correspondant aux profils de caractéristiques modélisés. Le procédé consiste également à construire le modèle à variables multiples à l'aide de données qui relient l'ensemble de paramètres de modèle mécaniste à l'ensemble de paramètres d'outil de traitement sur la base des profils de caractéristiques modélisés et des mesures.