ACTIVELY COOLED GAS LINE FOR ION SOURCE

• Main Authors: NAVARRO GOLDARAZ, Mateo, MCLAUGHLIN, Adam M, WRIGHT, Graham
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.10.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An actively cooled gas conduit for use with an ion source is disclosed. The gas conduit includes a gas channel and a cooling channel that may be adjacent to one another for at least a portion of the length of the gas channel. The gas conduit may be constructed by bonding two or more tubes together. Alternatively, the gas conduit may be constructed using additive manufacturing such that the cooling channel and the gas channel are within the same gas conduit. In some embodiments, the return channel is also disposed in the gas conduit. By actively cooling the gas conduit, the temperature of the gas conduit may be lowered, which reducing the possibility of clogging due to decomposition of the feed gas. L'invention concerne un conduit de gaz à refroidissement actif destiné à être utilisé avec une source d'ions. Le conduit de gaz comprend un canal de gaz et un canal de refroidissement qui peuvent être adjacents l'un à l'autre pour au moins une partie de la longueur du canal de gaz. Le conduit de gaz peut être construit par liaison de deux tubes ou plus ensemble. En variante, le conduit de gaz peut être construit à l'aide d'une fabrication additive de telle sorte que le canal de refroidissement et le canal de gaz se trouvent à l'intérieur du même conduit de gaz. Dans certains modes de réalisation, un canal de retour est également disposé dans le conduit de gaz. Par le refroidissement actif du conduit de gaz, la température de celui-ci peut être abaissée, ce qui réduit la possibilité d'obstruction due à la décomposition du gaz d'alimentation.