CLUSTER TOOL

• Main Authors: SEGUCHI, Taisei, AMIKURA, Norihiko
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.10.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is a cluster tool comprising a plasma treatment device and a mobile replacement device. The plasma treatment device comprises: a plasma treatment module having a first surface and a second surface; and a vacuum conveyance module connected to the plasma treatment module at the first surface. The plasma treatment module comprises a support member and an expendable ring. The mobile replacement device comprises: a ring storage unit; a ring replacement robot configured so as to convey the expendable ring between the ring storage unit and the plasma treatment module, the ring replacement robot conveying the expendable ring along a first direction orthogonal to the second surface; and a sliding mechanism configured so as to cause the ring replacement robot to slide along a second direction orthogonal to the first direction. L'invention concerne un outil multiple comprenant un dispositif de traitement au plasma et un dispositif de remplacement mobile. Le dispositif de traitement au plasma comprend : un module de traitement au plasma comportant une première surface et une seconde surface ; et un module de transport sous vide raccordé au module de traitement au plasma au niveau de la première surface. Le module de traitement au plasma comprend un élément de support et une bague extensible. Le dispositif de remplacement mobile comprend : une unité de stockage de bague ; un robot de remplacement de bague configuré de façon à transporter la bague extensible entre l'unité de stockage de bague et le module de traitement au plasma, le robot de remplacement de bague transportant la bague extensible le long d'une première direction orthogonale à la seconde surface ; et un mécanisme coulissant configuré de façon à amener le robot de remplacement de bague à coulisser le long d'une seconde direction orthogonale à la première direction. プラズマ処理装置と移動式交換装置とを有するクラスタツールであって、プラズマ処理装置は、第１の面及び第２の面を有するプラズマ処理モジュールと、第１の面でプラズマ処理モジュールに接続される真空搬送モジュールと、を有し、プラズマ処理モジュールは、支持部材と、消耗リングと、を有し、移動式交換装置は、リング保管部と、リング保管部とプラズマ処理モジュールとの間で消耗リングを搬送するように構成されるリング交換ロボットであって、第２の面と直交する第１の方向に沿って消耗リングを搬送する、リング交換ロボットと、第１の方向に直交する第２の方向に沿って、リング交換ロボットをスライドさせるように構成されるスライド機構と、を有する。