TEMPORARY FIXATION SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING TEMPORARILY FIXED SUBSTRATE

• Main Authors: YABU Daisuke, NOMURA Masaru
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 26.09.2024
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LIME, MAGNESIA; METALLURGY; REFRACTORIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SLAG; TREATMENT OF NATURAL STONE

This temporary fixation substrate is to be temporarily fixed to, at one main surface thereof, a prescribed fixation target, and then is to be detached from the fixation target. The temporary fixation substrate comprises a thin region which is an annular region having a prescribed width from a side end, and has, on the one main surface side of the thin region, a first thin part that recessed beyond the one main surface. The thickness in the thin region is smaller than that the thickness in regions other than the thin region. The difference between the thickness at the side end and the thickness in regions other than the thin region is 1-5 μm. La présente invention concerne un substrat de fixation temporaire qui doit être temporairement fixé à, au niveau d'une surface principale de celui-ci, une cible de fixation prescrite, puis doit être détaché de la cible de fixation. Le substrat de fixation temporaire comprend une région mince qui est une région annulaire ayant une largeur prescrite à partir d'une extrémité latérale, et a, sur le côté de surface principale de la région mince, une première partie mince qui est évidée au-delà de la surface principale. L'épaisseur dans la région mince est inférieure à l'épaisseur dans des régions autres que la région mince. La différence entre l'épaisseur au niveau de l'extrémité latérale et l'épaisseur dans des régions autres que la région mince est de 1 à 5 µm. 一方主面において所定の固定対象物が仮固定された後、固定対象物から剥離される、仮固定基板が、側端部から所定幅の環状の領域である薄厚領域を備え、薄厚領域の前記一方主面側に、前記一方主面よりも凹んだ第１の薄厚部を有し、薄厚領域における厚みが、薄厚領域以外における厚みよりも小さく、側端部における厚みと薄厚領域以外における厚みとの差が１μｍ～５μｍである、ようにした。