EVALUATION METHOD AND EVALUATION DEVICE

• Main Author: KOKETSU, Naoyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 26.09.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

This evaluation method includes an evaluation step in which, on the basis of image data obtained by using a photoluminescence method and obtained with respect to a plurality of organic films formed on a substrate via a mask having a plurality of openings that correspond to a plurality of film formation regions, an evaluation regarding the formation of the plurality of organic films in which a film formation pattern composed of a plurality of film formation region is carried out. In the evaluation step, the quality of formation of the plurality of organic films, in which the film formation pattern is used, is determined on the basis of information digitized on the basis of the luminance of the image data. L'invention concerne un procédé d'évaluation qui comprend une étape d'évaluation dans laquelle, sur la base de données d'image obtenues à l'aide d'un procédé de photoluminescence et obtenues par rapport à une pluralité de films organiques formés sur un substrat par l'intermédiaire d'un masque ayant une pluralité d'ouvertures qui correspondent à une pluralité de régions de formation de film, une évaluation concernant la formation de la pluralité de films organiques dans laquelle un motif de formation de film composé d'une pluralité de régions de formation de film est réalisée. Dans l'étape d'évaluation, la qualité de formation de la pluralité de films organiques, dans laquelle le motif de formation de film est utilisé, est déterminée sur la base d'informations numérisées sur la base de la luminance des données d'image. 複数の成膜領域に対応する複数の開口を有するマスクを介して基板上に成膜された複数の有機膜に対してフォトルミネッセンス法を用いて得られた画像データに基づいて、複数の成膜領域からなる成膜パターンにおける複数の有機膜の成膜に関する評価を行う評価工程を有し、評価工程においては、画像データの輝度に基づいて数値化された情報に基づいて、成膜パターンにおける複数の有機膜の成膜の良否を判定する評価方法を用いる。