ANGLE RESOLVED REFLECTOMETRY FOR THICK FILMS AND HIGH ASPECT RATIO STRUCTURES

• Main Authors: PETERLINZ, Kevin, WANG, David Y
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 22.08.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

The system includes a light source configured to emit light at one or more wavelengths, one or more angles of incidence (AOI), and one or more azimuths; a polarization assembly configured to produce one or more polarization states of the light; a main objective configured to focus the light in the one or more polarization states onto a target that reflects the light; an analyzer assembly configured to analyze one or more polarization states of the light reflected from the target; a detector configured to detect the light reflected from the target and generate an output signal based on the detected light; and a processor configured to generate a measurement of the target based on the output signal produced at the one or more polarization states, the one or more wavelengths, the one or more AOIs, and the one or more azimuths. Système comprenant une source de lumière conçue pour émettre de la lumière selon une ou plusieurs longueurs d'onde, un ou plusieurs angles d'incidence (AOI), et un ou plusieurs azimuts ; un ensemble de polarisation conçu pour produire un ou plusieurs états de polarisation de la lumière ; un objectif principal conçu pour focaliser la lumière dans le ou les états de polarisation sur une cible qui réfléchit la lumière ; un ensemble analyseur conçu pour analyser un ou plusieurs états de polarisation de la lumière réfléchie par la cible ; un détecteur conçu pour détecter la lumière réfléchie par la cible et générer un signal de sortie sur la base de la lumière détectée ; et un processeur conçu pour générer une mesure de la cible sur la base du signal de sortie produit selon le ou les états de polarisation, la ou les longueurs d'onde, le ou les AOI, et le ou les azimuts.