SURFACE INSPECTION DEVICE AND SURFACE INSPECTION METHOD

• Main Authors: ISHII, Tadanao, OTA, Yoshiyuki, NAKATA, Takeo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.08.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

In this surface inspection device 10, a scratch identifying unit identifies a scratch imaged in an inspection image for each inspection image based on a captured image. A second direction addition processing unit adds up, in a direction corresponding to a second direction that crosses a first direction in the inspection image, pixel values of the scratches identified by the scratch identifying unit, in the direction corresponding to the second direction for the plurality of inspection images. A first direction addition processing unit adds up, in a direction corresponding to the first direction in the inspection image, pixel values of the scratches identified by the scratch identifying unit, in the direction corresponding to the first direction for the plurality of inspection images. A continuous scratch determining unit determines whether separate scratches that occur occasionally on the surface of a target or continuous scratches that occur continuously on the surface of a target are occurring on the basis of the addition result of the second direction addition processing unit and the addition result of the first direction addition processing unit. Dans ce dispositif d'inspection de surface (10), une unité d'identification de rayures identifie une rayure imagée dans une image d'inspection pour chaque image d'inspection sur la base d'une image capturée. Une unité de traitement d'addition de seconde direction ajoute, dans une direction correspondant à une seconde direction qui croise une première direction dans l'image d'inspection, des valeurs de pixels des rayures identifiées par l'unité d'identification de rayures, dans la direction correspondant à la seconde direction pour la pluralité d'images d'inspection. Une unité de traitement d'addition de première direction ajoute, dans une direction correspondant à la première direction dans l'image d'inspection, des valeurs de pixels des rayures identifiées par l'unité d'identification de rayures, dans la direction correspondant à la première direction pour la pluralité d'images d'inspection. Une unité de détermination de rayures continues détermine si des rayures séparées qui se produisent occasionnellement sur la surface d'une cible ou des rayures continues qui se produisent en continu sur la surface d'une cible se produisent sur la base du résultat d'addition de l'unité de traitement d'addition de seconde direction et du résultat d'addition de l'unité de traitement d'addition de première direction. 表面検査装置１０において、きず特定部は、撮像画像に基づく検査画像毎に、検査画像に写ったきずを特定する。第２方向加算処理部は、きず特定部で特定されたきずの、検査画像における第１方向と直交する第２方向に対応する方向の画素値を、複数の検査画像について、第２方向に対応する方向に加算する。第１方向加算処理部は、きず特定部で特定されたきずの、検査画像における第１方向に対応する方向の画素値を、複数の検査画像について、第１方向に対応する方向に加算する。連続きず判定部は、第２方向加算処理部における加算結果と、第１方向加算処理部における加算結果とに基づいて、対象物の表面に、偶発的に発生する単発きずが発生しているか、連続して発生する連続きずが発生しているか、を判定する。