EMBEDDED OPTICAL WAVEGUIDE STRUCTURE, INTEGRATED SEMICONDUCTOR LASER DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING EMBEDDED OPTICAL WAVEGUIDE STRUCTURE

• Main Authors: HOJO, Naoya, NAKAMURA, Teruyuki, WAKABA, Masaki, KIMOTO, Tatsuya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 08.08.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

For example, a waveguide (20) of an embedded optical waveguide structure (100) has a first part (20-1), a second part (20-2) having a narrower width than that of the first part (20-1), and a third part (20-3) adjacent to the first part (20-1) in a third direction, optically connected to the first part (20-1), and having an end surface in the third direction. The first direction is a crystal orientation [100] direction, the second direction is a crystal orientation [0-11] direction or a crystal orientation [01-1] direction, and the third direction is a crystal orientation [011] direction or a crystal orientation [0-1-1] direction. The normal direction at each position of an end surface (20a) faces a direction between the first direction and the second direction or between a direction opposite to the second direction and the third direction, and is inclined with respect to a crystal orientation [111] direction or a crystal orientation [1-1-1] direction. Par exemple, un guide d'ondes (20) d'une structure de guide d'ondes optique intégrée (100) a une première partie (20-1), une deuxième partie (20-2) ayant une largeur plus étroite que celle de la première partie (20-1), et une troisième partie (20-3) adjacente à la première partie (20-1) dans une troisième direction, connectée optiquement à la première partie (20-1), et ayant une surface d'extrémité dans la troisième direction. La première direction est une direction d'orientation cristalline [100], la deuxième direction est une direction d'orientation cristalline [0-11] ou une direction d'orientation cristalline [01-1], et la troisième direction est une direction d'orientation cristalline [011] ou une direction d'orientation cristalline [0-1-1]. La direction normale à chaque position d'une surface d'extrémité (20a) fait face à une direction entre la première direction et la deuxième direction ou entre une direction opposée à la deuxième direction et la troisième direction, et est inclinée par rapport à une direction d'orientation cristalline [111] ou à une direction d'orientation cristalline [1-1-1]. 埋込型光導波路構造（１００）は、例えば、導波路（２０）は、第一部位（２０－１）と、当該第一部位（２０－１）より幅が狭い第二部位（２０－２）と、第一部位（２０－１）に対して第三方向に隣接し、第一部位（２０－１）と光学的に接続され、第三方向の端面を有した第三部位（２０－３）と、を有し、第一方向は、結晶方位［１００］方向であり、第二方向は、結晶方位［０－１１］方向または結晶方位［０１－１］方向であり、第三方向は、結晶方位［０１１］方向または結晶方位［０－１－１］方向であり、端面（２０ａ）の各位置における法線方向は、第一方向と第二方向または第二方向の反対方向と第三方向との間の方向を向くとともに、結晶方位［１１１］方向または結晶方位［１－１－１］方向に対して傾斜している。