INJECTORS, LINERS, PROCESS KITS, PROCESSING CHAMBERS, AND RELATED METHODS FOR GAS FLOW IN BATCH PROCESSING OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

• Main Authors: SALINAS, Martin Jeffrey, DHAMODHARAN, Raja Murali, MOHANADASS, Kalaivanan, LAU, Shu-Kwan, PATIL, Aniketnitin
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 02.08.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Embodiments of the present disclosure relate to injectors, liners, process kits, processing chambers, and related methods for gas flow in batch processing operations. In one or more embodiments, the liners facilitate gas flow uniformity in batch processing. In one or more embodiments, a liner includes a plurality of inlet openings on an inlet side, the plurality of inlet openings extending into an outer face of the liner. The plurality of inlet openings include a plurality of first inlet openings that include a first row extending into a first side face, and a second row extending into a second side face. The plurality of inlet openings include a plurality of second inlet openings extending between an inner face and the outer face. The liner includes one or more outlet openings on an outlet side. The outlet side opposes the inlet side. The one or more outlet openings extend into the inner face. Selon des modes de réalisation, la présente invention concerne des injecteurs, des revêtements, des kits de traitement, des chambres de traitement et des procédés associés pour un écoulement de gaz dans des opérations de traitement par lots. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, les revêtements facilitent l'uniformité d'écoulement de gaz dans un traitement par lots. Dans un ou plusieurs modes de réalisation, un revêtement comprend une pluralité d'ouvertures d'entrée sur un côté d'entrée, la pluralité d'ouvertures d'entrée s'étendant dans une face externe du revêtement. La pluralité d'ouvertures d'entrée comprennent une pluralité de premières ouvertures d'entrée qui comprennent une première rangée s'étendant dans une première face latérale, et une seconde rangée s'étendant dans une seconde face latérale. La pluralité d'ouvertures d'entrée comprennent une pluralité de secondes ouvertures d'entrée s'étendant entre une face interne et la face externe. Le revêtement comprend une ou plusieurs ouvertures de sortie sur un côté de sortie. Le côté de sortie est opposé au côté d'entrée. La ou les ouvertures de sortie s'étendent dans la face interne.