RESIN COMPOSITION, CURED ARTICLE, MULTILAYER BODY, METHOD FOR PRODUCING CURED ARTICLE, METHOD FOR PRODUCING MULTILAYER BODY, METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE, AND RESIN

• Main Authors: OOTA Kazuya, NOZAKI Atsuyasu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 18.07.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; COMPOSITIONS BASED THEREON; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONSONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP

Provided are: a resin composition comprising a resin having a repeating unit represented by formula (1) and a solvent; a cured article; a multilayer body; a method for producing a cured article; a method for producing a multilayer body; a method for producing a semiconductor device; and a semiconductor device. In formula (1), X1 represents a bivalent organic group; Y1 represents a bivalent linking group which is single-bound to an oxygen atom shown in formula (1) without involving a linking group and inclcuding an arylene group that may have a substituent; m1 and m2 each independently represent an integer of 1 to 12; R1's each independently represent a hydrogen atom or a substituent; R2's each independently represent a hydrogen atom or a substituent; R3's each independently represent a hydrogen atom or a substituent; and R4's each independently represent a hydrogen atom or a substituent. L'invention concerne : une composition de résine comprenant une résine ayant une unité de répétition représentée par la formule (1) et un solvant ; un article durci ; un corps multicouche ; un procédé de production d'un article durci ; un procédé de production d'un corps multicouche ; un procédé de production d'un dispositif à semi-conducteur ; et un dispositif à semi-conducteur. Dans la formule (1), X1 représente un groupe organique bivalent ; Y1 représente un groupe de liaison bivalent qui est lié par simple liaison à un atome d'oxygène représenté dans la formule (1) sans impliquer de groupe de liaison et comprenant un groupe arylène qui peut présenter un substituant ; m1 et m2 représentent chacun indépendamment un nombre entier de 1 à 12 ; les R1's représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un substituant ; les R2's représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un substituant ; les R3's représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un substituant ; et les R4's représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un substituant. 式（１）で表される繰返し単位を有する樹脂、及び溶剤を含む樹脂組成物、硬化物、積層体、硬化物の製造方法、積層体の製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び、半導体デバイス；式（１）中、Ｘ１は２価の有機基を表し、Ｙ１は式（１）中に記載された酸素原子と連結基を介さずに単結合で結合し、置換基を有してもよいアリーレン基を含む２価の連結基であり、ｍ１及びｍ２はそれぞれ独立に、１～１２の整数を表し、Ｒ１はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表し、Ｒ２はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表し、Ｒ３はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表し、Ｒ４はそれぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。