INSPECTION DEVICE, LOADER, AND TRANSPORT METHOD

• Main Authors: AKIYAMA, Shuji, KUROSAWA, Kenichi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 18.07.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

This inspection device comprises: a first stage that supports a substrate that contacts a contact probe; a second stage that is provided in a position adjacent to the first stage and supports a polishing member capable of polishing the contact probe; a substrate container section in which the substrate is contained; a polishing member container section in which the polishing member is contained; and a transport device that has a transport arm for transporting the substrate between the first stage and the substrate container section, and for transporting the polishing member between the second stage and the polishing member container section. The transport arm includes a first holding portion capable of holding the substrate, and a second holding portion capable of holding the polishing member at a different position than the first holding portion. La présente invention concerne un dispositif d'inspection comprenant : un premier étage qui supporte un substrat qui entre en contact avec une sonde de contact ; un second étage qui est disposé dans une position adjacente au premier étage et supporte un élément de polissage capable de polir la sonde de contact ; une section de récipient de substrat dans laquelle le substrat est contenu ; une section de récipient d'élément de polissage dans laquelle l'élément de polissage est contenu ; et un dispositif de transport qui a un bras de transport pour transporter le substrat entre le premier étage et la section de récipient de substrat, et pour transporter l'élément de polissage entre le second étage et la section de récipient d'élément de polissage. Le bras de transport comprend une première partie de maintien apte à maintenir le substrat, et une seconde partie de maintien apte à maintenir l'élément de polissage à une position différente de la première partie de maintien. 検査装置は、コンタクトプローブに接触する基板を支持する第１ステージと、前記第１ステージの隣接位置に設けられ、前記コンタクトプローブを研磨可能な研磨部材を支持する第２ステージと、前記基板を収納する基板用収納部と、前記研磨部材を収納する研磨部材用収納部と、前記第１ステージと前記基板用収納部との間で前記基板を搬送し、かつ前記第２ステージと前記研磨部材用収納部との間で前記研磨部材を搬送する搬送アームを有する搬送装置と、を備える。前記搬送アームは、前記基板を保持可能な第１保持部と、前記第１保持部と異なる位置で前記研磨部材を保持可能な第２保持部と、を有する。