ELECTRO-MECHANICAL DEVICE COMPRISING AN ELECTRICALLY SPLIT ARRAY OF MOVING ELEMENTS, AND METHODS OF CONTROLLING THEREOF

There is provided an electro-mechanical device comprising a first array comprising a plurality of first actuator elements, and a second array comprising a plurality of second actuator elements, the first array and the second array being located on a same substrate, wherein each of the first actuator...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors COHEN, Yuval, HABER, Eric Andreas, HALACHMY, Rephael, LEWIN, Daniel
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 04.07.2024
Subjects
Online AccessGet full text

Cover

Loading…
More Information
Summary:There is provided an electro-mechanical device comprising a first array comprising a plurality of first actuator elements, and a second array comprising a plurality of second actuator elements, the first array and the second array being located on a same substrate, wherein each of the first actuator elements is not electrically connected to any one of the second actuator elements, wherein control of an application of a voltage to at least one of a moving element or an electrode of an actuator element enables controlling motion of the moving element, wherein the first actuator elements are arranged along NR1 rows and NC1 columns, wherein NR1≥1 and NC1≥1, wherein at least one of NR1 or NC1 is equal to or larger than 2, wherein the second actuators elements are arranged along NR2 rows and NC2 columns, wherein at least one of NR2 or NC2 is equal to or larger than 2. L'invention concerne un dispositif électromécanique comprenant un premier réseau comprenant une pluralité de premiers éléments actionneurs, et un second réseau comprenant une pluralité de seconds éléments actionneurs, le premier réseau et le second réseau étant situés sur un même substrat, chacun des premiers éléments actionneurs n'étant pas électriquement connecté à l'un quelconque des seconds éléments actionneurs, la commande d'une application d'une tension à au moins l'un d'un élément mobile ou d'une électrode d'un élément actionneur permettant de commander le mouvement de l'élément mobile, les premiers éléments actionneurs sont disposés le long de NR1 rangées et de NC1 colonnes, où NR1≥1 et NC1≥1, au moins l'un de NR1 ou NC1 étant supérieur ou égal à 2, les seconds éléments actionneurs sont disposés le long de rangées NR2 et de colonnes NC2, au moins l'un de NR2 ou NC2 étant supérieur ou égal à 2.
Bibliography:Application Number: WO2023IL51286