MICROCAVITY PLASMA ARRAY FOR OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY

• Main Authors: LANCUBA, Patrick, KELLOGG, Sean
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 27.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COLORIMETRY; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

Disclosed herein are various systems and methods for optical emission spectroscopy. In some examples a substrate can be formed from conductive layers separated by a dielectric layer, the substrate having at least one recess therein, and the recess having an aperture therethrough. A chamber then encloses the area over the recess, the chamber including chamber walls, a gas inlet, and a gas outlet to allow a gas to fill the chamber. An arc is then created across the substrate using the conductive layers. The arc may form a plasma using the gas inside the chamber. The plasma then ablates a surface of a specimen, generating photons that can then be analyzed by a spectrometer. Sont divulgués dans la description divers systèmes et procédés de spectroscopie d'émission optique. Dans certains exemples, un substrat peut être formé à partir de couches conductrices séparées par une couche diélectrique, le substrat possédant au moins un évidement à l'intérieur de celui-ci, l'évidement possédant une ouverture à travers celui-ci. Une chambre renferme ensuite la zone sur l'évidement, la chambre comprenant des parois de chambre, une entrée de gaz et une sortie de gaz pour permettre à un gaz de remplir la chambre. Un arc est ensuite créé à travers le substrat à l'aide des couches conductrices. L'arc peut former un plasma à l'aide du gaz à l'intérieur de la chambre. Le plasma retire ensuite une surface d'un échantillon, générant des photons qui peuvent ensuite être analysés par un spectromètre.