MANUFACTURING METHOD FOR WAVELENGTH CONVERSION ELEMENT, AND WAVELENGTH CONVERSION ELEMENT

• Main Authors: NOMOTO, Yuki, HOSONO, Shun, YAMAGUCHI, Shoichiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.06.2024
• Subjects: DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH ISMODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THEDEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY,COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g.SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICS; PHYSICS; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF

This manufacturing method for a wavelength conversion element that has a periodical polarization inversion structure includes: a step of forming the periodical polarization inversion structure by forming a polarization inversion section and a non-polarization inversion section in an alternating manner on a ferroelectric substrate; a step of etching a surface of the ferroelectric substrate on which the periodical polarization inversion structure is formed and forming a step between the polarization inversion section and the non-polarization inversion section; a step of forming a bonding layer, of a first thickness, on the ferroelectric substrate on which the step is formed; a step of polishing the surface of the bonding layer such that the thickness of the bonding layer becomes a second thickness; and a step of bonding a support substrate to the polished surface of the bonding layer. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un élément de conversion de longueur d'onde qui a une structure d'inversion de polarisation périodique comprenant : une étape de formation de la structure d'inversion de polarisation périodique par formation d'une section d'inversion de polarisation et d'une section d'inversion de non-polarisation d'une manière alternée sur un substrat ferroélectrique ; une étape de gravure d'une surface du substrat ferroélectrique sur laquelle la structure d'inversion de polarisation périodique est formée et de formation d'une marche entre la section d'inversion de polarisation et la section d'inversion de non polarisation ; une étape de formation d'une couche de liaison, d'une première épaisseur, sur le substrat ferroélectrique sur lequel la marche est formée ; une étape de polissage de la surface de la couche de liaison de telle sorte que l'épaisseur de la couche de liaison devient une seconde épaisseur ; et une étape de liaison d'un substrat de support à la surface polie de la couche de liaison. 周期分極反転構造を有する波長変換素子の製造方法は、強誘電体基板に分極反転部と非分極反転部を交互に形成することで前記周期分極反転構造を形成する工程と、前記周期分極反転構造が形成された前記強誘電体基板の表面をエッチングし、前記分極反転部と前記非分極反転部の間に段差を形成する工程と、前記段差が形成された前記強誘電体基板の上に第１の厚みで接合層を成膜する工程と、前記接合層の厚さが第２の厚みとなるように前記接合層の表面を研磨する工程と、研磨された前記接合層の表面に支持基板を接合する工程と、を含む。