EXTREME ULTRAVIOLET SOURCE TEMPERATURE MONITORING USING CONFOCAL SENSOR

• Main Authors: TAE, Patrick, SU, Caijun
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 20.06.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

A broadband light source includes a confocal sensor assembly configured to measure a surface of a rotatable drum coated with plasma-forming target material. The broadband light source includes a laser source configured to direct pulsed illumination to the rotatable drum for exciting the plasma-forming target material and emitting broadband light as the drum is rotated in an angular direction and translated in an axial direction. The broadband light source includes a controller configured to direct the confocal sensor assembly to transmit a confocal optical signal to the rotatable drum, record a calibration measurement of a distance from the confocal sensor assembly to the rotatable drum, direct a cryogenic cooling sub-system to cryogenically cool the rotatable drum, record one or more distance measurements from a sensor head to the rotatable drum, convert the distance measurements to temperature values, and determine whether a target process condition temperature is achieved. Une source de lumière à large bande comprend un ensemble capteur confocal configuré pour mesurer une surface d'un tambour rotatif revêtu d'un matériau cible de formation de plasma. La source de lumière à large bande comprend une source laser configurée pour diriger un éclairage pulsé vers le tambour rotatif pour exciter le matériau cible de formation de plasma et émettre une lumière à large bande lorsque le tambour tourne dans un sens angulaire et est déplacé en translation dans un sens axial. La source de lumière à large bande comprend un dispositif de commande configuré pour diriger l'ensemble capteur confocal pour transmettre un signal optique confocal au tambour rotatif, enregistrer une mesure d'étalonnage d'une distance de l'ensemble capteur confocal au tambour rotatif, diriger un sous-système de refroidissement cryogénique pour refroidir cryogéniquement le tambour rotatif, enregistrer une ou plusieurs mesures de distance d'une tête de capteur au tambour rotatif, convertir les mesures de distance en valeurs de température, et déterminer si une température de condition de processus cible est obtenue.