MOLYBDENUM PRECURSORS AND RELATED METHODS

• Main Authors: WATSON, Michael, OCAMPO, Cristian, HENDRIX, Bryan C, VALDEZ, Juan, PRESS, Loren, GARRETT, Benjamin R, WRIGHT JR., Robert L
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 13.06.2024
• Subjects: CHEMISTRY; COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSESC01D OR C01F; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY

Molybdenum precursors with high purity and methods for purifying molybdenum precursors are provided. A method comprises obtaining a first vessel comprising a solid reagent; vaporizing at least a portion of the solid reagent to produce a vapor comprising a MoCl5 vapor and a molybdenum impurity vapor; flowing at least a portion of the MoCl5 vapor and at least a portion of the molybdenum impurity vapor to a second vessel; condensing at least a portion of the MoCl5 vapor in the second vessel to separate the MoCl5 from the molybdenum impurity; and removing at least a portion of the molybdenum impurity vapor from the second vessel to obtain a MoCl5 precursor. Sont proposés des précurseurs de molybdène de pureté élevée et des procédés de purification de précurseurs de molybdène. Un procédé consiste à obtenir un premier récipient comprenant un réactif solide ; à vaporiser au moins une partie du réactif solide pour produire une vapeur comprenant une vapeur de MoCl5 et une vapeur d'impureté de molybdène ; à faire circuler au moins une partie de la vapeur de MoCl5 et au moins une partie de la vapeur d'impureté de molybdène vers un second récipient ; à au moins une partie de la vapeur de MoCl5 dans le second récipient pour séparer le MoCl5 de l'impureté de molybdène ; et à retirer au moins une partie de la vapeur d'impureté de molybdène du second récipient pour obtenir un précurseur de MoCl5.