OPTICAL REFLECTION ELEMENT

• Main Authors: TAKIGAWA, Jun, MIHARA, Kensuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 06.06.2024
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

This optical reflection element is provided with: a fixed part; and a movable part (40) which is supported by the fixed part so as to be rotatable about a rotation axis (R10), and has a reflective surface (40a) in a central part (41) of the upper surface, while having a rib part (42) in an outer peripheral region of the lower surface. The central part (41) of the movable part (40) has a structure which is obtained by removing a base layer (101) and an oxide film (102) from an SOI wafer wherein the base layer (101), the oxide film (102) and an active layer (103) are stacked; and the rib part (42) has a structure which is obtained by removing at least a part of the active layer (103) from the SOI wafer. L'invention concerne un élément de réflexion optique qui est pourvu : d'une partie fixe ; et d'une partie mobile (40) qui est supportée par la partie fixe de façon à pouvoir tourner autour d'un axe de rotation (R10), et a une surface réfléchissante (40a) dans une partie centrale (41) de la surface supérieure, tout en ayant une partie nervure (42) dans une région périphérique externe de la surface inférieure. La partie centrale (41) de la partie mobile (40) a une structure qui est obtenue par retrait d'une couche de base (101) et d'un film d'oxyde (102) à partir d'une tranche SOI, la couche de base (101), le film d'oxyde (102) et une couche active (103) étant empilés ; et la partie nervure (42) ayant une structure qui est obtenue par retrait d'au moins une partie de la couche active (103) de la tranche SOI. 光学反射素子は、固定部と、回動軸（Ｒ１０）について回動可能に固定部に支持され、上面の中央部（４１）に反射面（４０ａ）を有し、下面の外周領域にリブ部（４２）を有する可動部（４０）と、を備える。可動部（４０）の中央部（４１）は、ベース層（１０１）、酸化膜（１０２）および活性層（１０３）が積層したＳＯＩウエハからベース層（１０１）および酸化膜（１０２）が除かれた構造を有し、リブ部（４２）は、ＳＯＩウエハから少なくとも一部の活性層（１０３）が除かれた構造を有する。