GAS CURTAIN DEVICE FOR FRONT OPENING UNIFIED POD

• Main Authors: HSU, Tzu-Hung, CHEN, Jin-Bor, HUANG, Tsan-Hua, HSU, Shun-Yi
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 16.05.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

A gas curtain device for a front opening unified pod has a casing. At least one first gas guide plate is disposed in the casing. The first gas guide plate has a first gas guide region. The first gas guide region has a plurality of first gas guide holes. A second gas guide plate is disposed at a distal end of the casing. The second gas guide plate has a second gas guide region. The second gas guide region has a plurality of second gas guide holes. The area of the first gas guide region is less than the area of the second gas guide region. The number of the second gas guide holes is greater than the number of the first gas guide holes. The total area of the second gas guide holes is greater than the total area of the first gas guide holes. L'invention concerne un dispositif à rideau de gaz pour une enceinte unifiée à ouverture frontale comprenant un boîtier. Au moins une première plaque de guidage de gaz est disposée dans le boîtier. La première plaque de guidage de gaz comprend une première région de guidage de gaz. La première région de guidage de gaz comprend une pluralité de premiers trous de guidage de gaz. Une seconde plaque de guidage de gaz est disposée au niveau d'une extrémité distale du boîtier. La seconde plaque de guidage de gaz comprend une seconde région de guidage de gaz. La seconde région de guidage de gaz comprend une pluralité de seconds trous de guidage de gaz. La surface de la première région de guidage de gaz est inférieure à la surface de la seconde région de guidage de gaz. Le nombre de seconds trous de guidage de gaz est supérieur au nombre de premiers trous de guidage de gaz. La surface totale des seconds trous de guidage de gaz est supérieure à la surface totale des premiers trous de guidage de gaz.