DUST COLLECTOR AND APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTORS

• Main Authors: TENMA Yasuyuki, TATSUMI Yoshiaki, HASEGAWA Takaaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 16.05.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT; DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLIDMATERIALS OR FLUIDS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROMSOLID MATERIALS OR FLUIDS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS; SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATICTABLES OR JIGS; TRANSPORTING

[Problem] To provide a dust collector that can be installed in a desired location without the use of a power generator or a fixing member. [Solution] A dust collector 1A comprises: a first electrode layer 12 formed of a conductor-containing material; a second electrode layer 14 formed of a conductor-containing material and disposed facing the first electrode layer 12; a first insulating layer 11 that is formed of a dielectric, is disposed between the first electrode layer 12 and an object to be fixed S, and insulates the first electrode layer 12 from the object to be fixed S; a second insulating layer 13 that is formed of a dielectric, is disposed between the first electrode layer 12 and the second electrode layer 14, and insulates the first electrode layer 12 from the second electrode layer 14; and a third insulating layer 15 that is disposed on a surface of the second electrode layer 14 opposite from a surface that faces the object to be fixed S, and that insulates the second electrode layer 14. Le problème à résoudre par la présente invention est de fournir un collecteur de poussière qui peut être installé dans un emplacement souhaité sans générateur d'énergie, ni élément de fixation. La solution selon l'invention porte sur un collecteur de poussière 1A qui comprend : une première couche d'électrode 12 constituée d'un matériau contenant un conducteur ; une seconde couche d'électrode 14 constituée d'un matériau contenant un conducteur et disposée en regard de la première couche d'électrode 12 ; une première couche isolante 11 qui est constituée d'un diélectrique, est disposée entre la première couche d'électrode 12 et un objet à fixer S, et isole la première couche d'électrode 12 de l'objet à fixer S ; une seconde couche isolante 13 qui est constituée d'un diélectrique, est disposée entre la première couche d'électrode 12 et la seconde couche d'électrode 14, et isole la première couche d'électrode 12 de la seconde couche d'électrode 14 ; et une troisième couche isolante 15 qui est disposée sur une surface de la seconde couche d'électrode 14 opposée à une surface qui fait face à l'objet à fixer S, et qui isole la seconde couche d'électrode 14. 【課題】動力発生装置及び固定部材を用いずに、所望の場所に設置できる集塵機を提供する。 【解決手段】集塵機１Ａは、導体を含む材質によって形成される第１の電極層１２と、導体を含む材質によって形成され、第１の電極層１２に対向して配置される第２の電極層１４と、誘電体によって形成され、第１の電極層１２と被固定物Ｓとの間に配置され、第１の電極層１２と被固定物Ｓとを絶縁する第１の絶縁層１１と、誘電体によって形成され、第１の電極層１２と第２の電極層１４との間に配置され、第１の電極層１２と第２の電極層１４とを絶縁する第２の絶縁層１３と、第２の電極層１４の被固定物Ｓに対向する面とは逆側の面に配置され、第２の電極層１４を絶縁する第３の絶縁層１５と、を備える。