COHERENT SPECTROSCOPY FOR TSV

• Main Authors: SHAYARI, Amir, BARAK, Gilad, ADAM, Ido, SAGIV, Amir, SCHREIBER, Yishai
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 16.05.2024
• Subjects: COLORIMETRY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

A system and methods for OCD metrology are provided including setting an interferometry mirror of the system at each of multiple positions z, wherein at each position the mirror reflection is Optical-Path-Difference (OPD) matched with reflection from the at least one reflective surface, and measuring interferometer spectra I measured , with the mirror at each of the multiple positions; then fitting the multiple measured interferometer spectra to an equation for I measured , to solve for non-z-dependent parameters of the equation, leaving a z-dependent function of the wave number k, having fully coherent and partially coherent terms; and removing the partially coherent terms of the function to derive a fully coherent field for characterizing the OCD structure. L'invention concerne un système et des procédés de métrologie OCD comprenant le réglage d'un miroir d'interférométrie du système à chacune de multiples positions z ; à chaque position, la réflexion de miroir est une différence de trajet optique (OPD) correspondant à une réflexion à partir de ladite au moins une surface réfléchissante, et la mesure de spectres d'interféromètre I mesurés , avec le miroir à chacune des multiples positions ; puis l'ajustement des multiples spectres d'interféromètre mesurés à une équation pour I mesurés , pour résoudre des paramètres non dépendants de z de l'équation, laissant une fonction dépendante de z du nombre d'ondes k, ayant des termes complètement cohérents et partiellement cohérents ; et l'élimination des termes partiellement cohérents de la fonction pour déduire un champ entièrement cohérent afin de caractériser la structure OCD.