TILT-COLUMN MULTI-BEAM ELECTRON MICROSCOPY SYSTEM AND METHOD

• Main Authors: JIANG, Xinrong, JIANG, Youfei, NYFFENEGGER, Ralph, STEIGERWALD, Michael
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.05.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

A system and method of a tilt-column electron beam imaging system is disclosed. The system may include an imaging sub-system. The imaging sub-system may include a plurality of electron beam sources configured to generate a plurality of beamlets. The imaging sub-system may further include a plurality of tilt-illumination columns. where a respective tilt-illumination column is configured to receive a respective beamlet from a respective electron beam source. For the system and method, a first tilt axis of a first tilt-illumination column may be orientated along a first angle and at least one additional tilt axis of at least one additional tilt-illumination column may be orientated along at least one additional angle different from the first angle, where each of the plurality of beamlets pass through a first common crossover volume. L'invention concerne un système et un procédé d'un système d'imagerie à faisceaux d'électrons à colonne inclinée. Le système peut comprendre un sous-système d'imagerie. Le sous-système d'imagerie peut comprendre une pluralité de sources de faisceau d'électrons configurées pour générer une pluralité de petits faisceaux. Le sous-système d'imagerie peut en outre comprendre une pluralité de colonnes d'éclairage inclinée. Une colonne d'éclairage inclinée respective étant configurée pour recevoir un petit faisceau respectif provenant d'une source de faisceau d'électrons respective. Pour le système et le procédé, un premier axe d'inclinaison d'une première colonne d'éclairage inclinée peut être orienté le long d'un premier angle et au moins un axe d'inclinaison supplémentaire d'au moins une colonne d'éclairage inclinée supplémentaire peut être orienté le long d'au moins un angle supplémentaire différent du premier angle, chacun de la pluralité de petits faisceaux passant à travers un premier volume de croisement commun.