SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: YASUTAKE Yosuke, ISHIKAWA Michiaki, ONO Takuya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.05.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

In step S5, before using a new brush for cleaning, an image of the cleaning surface of the brush is captured as a reference cleaning surface image. The cleaning is performed by applying the cleaning surface of the brush to a substrate. After the cleaning, in step S6, an image of the cleaning surface of the brush used for cleaning is captured as a current cleaning surface image. In this manner, a reference cleaning surface image serving as a reference is captured in advance, and in step S7, the brush replacement timing is determined according to changes from the reference cleaning surface image. Therefore, even if the type of brush changes, the replacement timing can be determined by the same process, so the brush replacement timing can be determined accurately with a simple procedure. À l'étape S5, avant l'utilisation d'une nouvelle brosse pour le nettoyage, une image de la surface de nettoyage de la brosse est capturée comme image de surface de nettoyage de référence. Le nettoyage est effectué en appliquant la surface de nettoyage de la brosse sur un substrat. Après le nettoyage, à l'étape S6, une image de la surface de nettoyage de la brosse utilisée pour le nettoyage est capturée comme image de surface de nettoyage actuelle. De cette manière, une image de surface de nettoyage de référence servant de référence est capturée à l'avance, et à l'étape S7, le moment de remplacement de la brosse est déterminé en fonction des changements par rapport à l'image de surface de nettoyage de référence. Par conséquent, même si le type de brosse change, le moment de remplacement peut être déterminé par le même processus, de telle sorte que le moment de remplacement de la brosse peut être déterminé avec précision par une procédure simple. ステップＳ５にて、新規のブラシを洗浄処理に使う前に、ブラシの洗浄面を基準洗浄面画像として撮影する。洗浄処理にて、ブラシの洗浄面を基板に作用させて洗浄処理を行う。洗浄処理の後に、ステップＳ６にて、洗浄に用いたブラシの洗浄面を現在洗浄面画像として撮影する。このように予め基準となる基準洗浄面画像を撮影しておき、ステップＳ７にて、基準洗浄面画像からの変化に応じてブラシの交換タイミングを決定する。したがって、ブラシの種類が変わっても同様の処理にて交換タイミングを決定できるので、簡単な手順でブラシの交換タイミングを正確に判断できる。