DATA COLLECTING APPARATUS, DATA COLLECTING SYSTEM, DATABASE CREATING METHOD AND PROGRAM

• Main Authors: KUMEKAWA Shizuo, FUJIHARA Mitsuteru, TSUNODA Keisuke, HAYASHI Hidematsu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 18.04.2024
• Subjects: ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHICCOMMUNICATION

This data collecting apparatus (10) in a semiconductor manufacturing system is connected to multiple controlled devices, which operate in accordance with control commands, via an industrial network (for example, CC-Link IE TSN (a trademark of Mitsubishi Denki), TSN network). The data collecting apparatus (10) comprises: a main communication unit (13) that receives, at communication periods, operation data each indicating the operation state of the respective controlled device; a creation unit (120) that creates a multi-dimension database having a first axis, which corresponds to a list of labels assigned to the respective ones of the multiple controlled devices so as to manage the controlled devices, and a second axis corresponding to a list of communication periods; and an addition unit (130) that adds, at the communication periods, the operation data received by the main communication unit (13) to a database (40) along the second axis in such a manner that causes the operation data to correspond to the labels of the controlled devices the operation states of which are indicated by the operation data. Le présent appareil de collecte de données (10) d'un système de fabrication de semi-conducteurs est connecté à de multiples dispositifs commandés, qui fonctionnent conformément à des instructions de commande, par l'intermédiaire d'un réseau industriel (par exemple, CC-Link IE TSN (marque déposée de Mitsubishi Denki), réseau TSN). L'appareil de collecte de données (10) comprend : une unité de communication principale (13) qui reçoit, sur des périodes de communication, des données de fonctionnement indiquant individuellement l'état de fonctionnement du dispositif commandé respectif ; une unité de création (120) qui crée une base de données multidimensionnelle ayant un premier axe, qui correspond à une liste d'étiquettes attribuées aux dispositifs respectifs parmi les multiples dispositifs commandés de façon à gérer les dispositifs commandés, et un second axe correspondant à une liste de périodes de communication ; et une unité d'ajout (130) qui ajoute, sur les périodes de communication, les données de fonctionnement reçues par l'unité de communication principale (13) à une base de données (40) le long du second axe d'une manière qui amène les données de fonctionnement à correspondre aux étiquettes des dispositifs commandés dont les états de fonctionnement sont indiqués par les données de fonctionnement. 半導体製造システムにおけるデータ収集装置（１０）は、制御指令に従って動作する複数の被制御機器に産業用ネットワーク（例えば、CC-Link IE TSN(三菱電機商標)、TSNネットワーク）を介して接続される。データ収集装置（１０）は、被制御機器それぞれの稼働状態を示す稼働データを通信周期毎に受信する主通信ユニット（１３）と、複数の被制御機器を管理するために被制御機器それぞれに付されるラベルのリストに対応する第１軸と、通信周期のリストに対応する第２軸と、を有する多次元データベースを作成する作成部（１２０）と、主通信ユニット（１３）によって受信された稼働データを、当該稼働データによって稼働状態が示される被制御機器のラベルに対応させて、通信周期毎に第２軸に沿ってデータベース（４０）に追加する追加部（１３０）と、を備える。