OPTIMIZATION OF FABRICATION PROCESSES

• Main Authors: ROSCHEWSKY, Niklas, BLUM, Zachary Jake, LU, Yu, LIU, Chao, HONG, Kah Jun, FREY, Lucas Ryan, TETIKER, Mehmet Derya, PARK, Sae Na, AMBIKAPATHI, ArulMurugan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.04.2024
• Subjects: CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING

Methods, systems, and media for optimization of fabrication processes are provided. In some implementations, a method of automatically optimizing fabrication processes comprises: (a) providing a first set of process parameter values associated with a first experiment to a model representing a fabrication process; (b) characterizing a statistical uncertainty of predictions made by the model; (c) using an acquisition function to select a second set of process parameter values, wherein the acquisition function identifies the second set of process parameters based on both: (i) a difference between predicted wafer characteristics and a target specification; and (ii) the statistical uncertainty; (d) receiving results of the fabrication process performed using the second set of process parameter values; and (e) determining whether the performance of the fabrication process generates a post-processed wafer having wafer characteristics that meet the target specification. L'invention concerne des procédés, des systèmes et des supports pour l'optimisation de processus de fabrication. Dans certains modes de réalisation, un procédé d'optimisation automatique de processus de fabrication consiste à : (a) fournir un premier ensemble de valeurs de paramètre de processus associées à une première expérience à un modèle représentant un processus de fabrication ; (b) caractériser une incertitude statistique de prédictions effectuées par le modèle ; (c) utiliser une fonction d'acquisition pour sélectionner un second ensemble de valeurs de paramètre de processus, la fonction d'acquisition identifiant le second ensemble de paramètres de processus sur la base : (i) d'une différence entre des caractéristiques de tranche prédites et une spécification cible ; et (ii) l'incertitude statistique ; (d) recevoir des résultats du processus de fabrication effectué à l'aide du second ensemble de valeurs de paramètre de processus ; et (e) déterminer si les performances du processus de fabrication génèrent une tranche post-traitée ayant des caractéristiques de tranche qui satisfont la spécification cible.