SENSOR DEVICE

• Main Authors: SHIOSAKI, Shoichi, TERAO, Fumitake, TAKEDA, Shoma, TSUKANO, Masahito
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.04.2024
• Subjects: DETECTING MASSES OR OBJECTS; GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

A sensor device (2) is provided with a plurality of substrates (3) disposed side by side in a substrate thickness direction, and a plurality of sensors (4) disposed on the plurality of substrates (3). When the plurality of substrates (3) are viewed in plan, the plurality of sensors (4) are disposed at different positions. Un dispositif capteur (2) est pourvu d'une pluralité de substrats (3) disposés côte à côte dans une direction d'épaisseur de substrat, et d'une pluralité de capteurs (4) disposés sur la pluralité de substrats (3). Lorsque la pluralité de substrats (3) sont vus en plan, la pluralité de capteurs (4) sont disposés à différentes positions. センサ装置（２）は、基板厚さ方向に並んで配置された複数の基板（３）と、複数の基板（３）上にわたって配置された複数のセンサ（４）と、を備え、複数の基板（３）を平面視したときに、複数のセンサ（４）それぞれが異なる位置に配置されている。