DISTANCE MEASUREMENT METHOD, DISTANCE MEASUREMENT DEVICE, AND DISTANCE MEASUREMENT SYSTEM

The present invention provides a distance measurement device and a distance measurement method that can reduce a distance error caused by polarization. The distance measurement method splits light generated in a laser light source to a reference optical system and a measurement optical system, detec...

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Main Authors HARIYAMA Tatsuo, MARUNO Kenji, WATANABE Masahiro, AKIYAMA Hirohito, KANDO Hidehiko
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 04.04.2024
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Summary:The present invention provides a distance measurement device and a distance measurement method that can reduce a distance error caused by polarization. The distance measurement method splits light generated in a laser light source to a reference optical system and a measurement optical system, detects a reference optical path measurement beat signal from reference light having passed through the reference optical system, detects a measurement optical path measurement beat signal from measurement light having routed through an object of measurement in the measurement optical system, and measures a distance to the object of measurement on the basis of the measurement optical path measurement beat signal and the reference optical path measurement beat signal, the distance measurement method being characterized in that a polarization-caused distance error reduction element is installed in one or both of the reference optical system and the measurement optical system. La présente invention propose un dispositif de mesure de distance et un procédé de mesure de distance, qui peuvent réduire une erreur de distance provoquée par la polarisation. Le procédé de mesure de distance divise une lumière générée dans une source de lumière laser pour un système optique de référence et un système optique de mesure, détecte un signal de battement de mesure de trajet optique de référence à partir d'une lumière de référence ayant traversé le système optique de référence, détecte un signal de battement de mesure de trajet optique de mesure à partir d'une lumière de mesure ayant traversé un objet de mesure dans le système optique de mesure, et mesure une distance par rapport à l'objet de mesure sur la base du signal de battement de mesure de trajet optique de mesure et du signal de battement de mesure de trajet optique de référence, le procédé de mesure de distance étant caractérisé en ce qu'un élément de réduction d'erreur de distance provoquée par la polarisation est installé dans le système optique de référence et/ou le système optique de mesure. 偏光起因で生じる距離誤差を低減することができる距離計測装置および距離計測方法を提供する。レーザ光源で発生した光を参照光学系と測定光学系に分岐し、参照光学系を通過した参照光から参照光路測定ビート信号を検出し、測定光学系において測定対象物を経由して得られた測定光から測定光路測定ビート信号を検出して、測定光路測定ビート信号,及び参照光路測定ビート信号に基づき、測定対象物までの距離を計測する距離計測方法であって、参照光学系及び前記測定光学系のいずれか一方、または双方の光学系内に偏光起因距離誤差低減要素を設置することを特徴とする距離計測方法。
Bibliography:Application Number: WO2023JP18154