METHOD OF REGENERATING CRYOPUMP

• Main Authors: YANG, Won Kyun, KIM, Young Bae, AHN, Kyung Joon, CHOI, Ki Chul
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 14.03.2024
• Subjects: BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; WEAPONS

The method of regenerating a cryopump comprising: a freezer having a first stage unit and a second stage unit, and cooling the first stage unit and the second stage unit by using a high-pressure refrigerant; a cryopanel including a first stage panel cooled by the first stage unit, and a second stage panel cooled by the second stage unit; a cryopump vessel surrounding the cryopanel and including a radiation shield surrounding the first stage unit; a first heater installed on the first stage panel; and a second heater installed on the second stage panel, comprises: a temperature raising process step of turning on the first heater to raise the temperature of the radiation shield and the first stage panel; a roughing process step of controlling a roughing valve to adjust the vacuum in the cryopump vessel while the cryopump vessel is maintained at a pressure at which solid ice can sublimate into gaseous vapor; a purge process step of supplying a purge gas into the cryopump vessel; and a cool-down process step of lowering the temperature of the first stage panel and the second stage panel. Le procédé de régénération d'une pompe cryogénique comprend : un congélateur ayant une unité de premier étage et une unité de deuxième étage, et le refroidissement de l'unité de premier étage et de l'unité de deuxième étage à l'aide d'un fluide frigorigène haute pression ; un panneau cryogénique comprenant un panneau de premier étage refroidi par l'unité de premier étage, et un panneau de deuxième étage refroidi par l'unité de deuxième étage ; un récipient de pompe cryogénique entourant le panneau cryogénique et comprenant un écran de protection entourant l'unité de premier étage ; un premier dispositif de chauffage installé sur le panneau de premier étage ; et un deuxième dispositif de chauffage installé sur le panneau de deuxième étage, comprenant : une étape de traitement d'augmentation de température consistant à allumer le premier dispositif de chauffage pour augmenter la température de l'écran de protection et du panneau de premier étage ; une étape de traitement de dégrossissage consistant à commander une vanne de dégrossissage pour ajuster le vide dans le récipient de pompe cryogénique pendant que le récipient de pompe cryogénique est maintenu à une pression à laquelle de la glace solide peut se sublimer en vapeur gazeuse ; une étape de processus de purge consistant à distribuer du gaz de purge dans le récipient de pompe cryogénique ; et une étape de processus de refroidissement consistant à baisser la température du panneau de premier étage et du panneau de deuxième étage. 1단 스테이지부와, 2단 스테이지부를 구비하고, 고압 냉매를 이용하여 상기 1단 스테이지부 및 상기 2단 스테이지부를 냉각시키는 냉동기; 상기 1단 스테이지부에 의해 냉각되는 1단 패널, 상기 2단 스테이지부에 의해 냉각되는 2단 패널을 포함하는 크라이오 패널; 상기 크라이오 패널을 둘러싸고, 상기 1단 스테이지부를 둘러싸는 복사 실드를 포함하는 크라이오 펌프 용기; 상기 1단 패널에 설치되는 제 1 히터; 및 상기 2단 패널에 설치되는 제 2 히터를 포함하는 크라이오 펌프의 재생 방법은 상기 제 1 히터를 온(On)하여 상기 복사 실드 및 상기 1단 패널의 온도를 승온시키는 승온 공정 단계, 상기 크라이오 펌프 용기가 고체 상태인 얼음이 기체 상태인 증기로 승화 가능한 압력으로 유지한 상태에서 상기 크라이오 펌프 용기 내 진공을 조절하기 위한 러핑 밸브를 제어하는 러핑 공정 단계, 상기 크라이오 펌프 용기 내로 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 공정 단계 및 상기 1단 패널 및 상기 2단 패널의 온도를 하강시키는 쿨다운 공정 단계를 포함한다.