OBSERVATION ASSISTANCE DEVICE

• Main Authors: CHIBA Hiroyuki, TAN Wei Chean, MISE Hiromi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 14.03.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

This observation assistance device for a sample comprises: an observation position display unit that displays, in association with an image display unit, the positions of a plurality of captured images in which a sample is image-captured by a charged particle beam device; a display processing unit that controls the observation position display unit; and a representative image selection processing unit that selects a representative image on the basis of the plurality of captured images. According to a change in the magnification of the image display unit, the display processing unit controls the representative image to a size that is easily visible and displays the representative image on the observation position display unit. La présente invention concerne un dispositif d'aide à l'observation d'un échantillon comprenant : une unité d'affichage de positions d'observation qui affiche, en association avec une unité d'affichage d'images, les positions d'une pluralité d'images capturées dans lesquelles un échantillon est capturé par un dispositif à faisceau de particules chargées ; une unité de traitement d'affichage qui commande l'unité d'affichage de positions d'observation ; et une unité de traitement de sélection d'images représentatives qui sélectionne une image représentative sur la base d'une pluralité d'images capturées. En fonction d'une modification de l'agrandissement de l'unité d'affichage d'images, l'unité de traitement d'affichage commande l'image représentative à une taille facilement visible et affiche l'image représentative sur l'unité d'affichage de positions d'observation. 試料の観察支援装置は、荷電粒子線装置によって試料を撮像した複数の撮像画像の位置を、画像表示部に対応付けて表示する観察位置表示部と、前記観察位置表示部を制御する表示処理部と、前記複数の撮像画像に基づき代表画像を選出する代表画像選出処理部と、を備え、前記表示処理部は、前記画像表示部の倍率が変更されることに応じ、前記代表画像を視認しやすいサイズに制御して観察位置表示部に表示する。