VIBRATION DEVICE

• Main Authors: KAWAGUCHI, Yoshiyuki, AONO, Shigeo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 07.03.2024
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

This vibration device comprises a first substrate, a second substrate, an intermediate layer, and an excitation electrode. The first substrate has a first surface. The second substrate has a second surface facing the first surface. The intermediate layer is located between the first surface and the second surface. The first surface has a first recess. The intermediate layer has a vibrating portion and a frame portion. The vibrating portion has an excitation portion where the excitation electrode is located. The excitation portion faces the first recess. The frame portion surrounds the vibrating portion in plan view, and is bonded to the first surface and the second surface. The entire peripheral edge of the vibrating portion is separated from the frame portion. The vibrating portion is bonded to the peripheral area of the first recess of the first surface. La présente divulgation concerne un dispositif de vibration qui comprend un premier substrat, un deuxième substrat, une couche intermédiaire et une électrode d'excitation. Le premier substrat a une première surface. Le deuxième substrat a une deuxième surface faisant face à la première. La couche intermédiaire est située entre la première surface et la deuxième surface. La première surface comporte un premier évidement. La couche intermédiaire comporte une partie vibrante et une partie cadre. La partie vibrante a une partie d'excitation où se trouve l'électrode d'excitation. La partie d'excitation fait face au premier évidement. La partie cadre entoure la partie vibrante dans une vue en plan, et est liée à la première surface et à la deuxième surface. La totalité du bord périphérique de la partie vibrante est séparée de la partie cadre. La partie vibrante est liée à la zone périphérique du premier évidement de la première surface. 振動デバイスは、第１基板、第２基板、中間層及び励振電極を有している。第１基板は第１面を有している。第２基板は第１面と対向する第２面を有している。中間層は第１面と第２面との間に位置している。第１面は第１凹部を有している。中間層は振動部及び枠部を有している。振動部は励振電極が位置する励振部を有している。励振部は第１凹部に対向している。枠部は、平面視において振動部を囲んでおり、第１面及び第２面に接合されている。振動部の外縁は、その全周に亘って枠部から離れている。振動部は、第１面のうちの第１凹部の外周領域に接合されている。