CHARGED-PARTICLE IRRADIATION UNIT FOR A CHARGED-PARTICLE DIFFRACTOMETER

The present invention relates to a charged-particle irradiation unit (100) and to a diffractometer comprising such an irradiation unit (100), wherein the irradiation unit (100) comprises a charged-particle source (10), a charged-particle-optical system (20), a sample holder (30) and a manipulator (1...

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Main Author GARBUGLIA, Francesco
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 07.03.2024
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Summary:The present invention relates to a charged-particle irradiation unit (100) and to a diffractometer comprising such an irradiation unit (100), wherein the irradiation unit (100) comprises a charged-particle source (10), a charged-particle-optical system (20), a sample holder (30) and a manipulator (101) operatively coupled to the sample holder (30) for positioning a sample (31) relative to the beam axis (11). The manipulator (101) comprises a rotation stage (130) for rotating the sample holder (30) with respect to the incident beam around a substantially vertical rotation axis (131), a first translation stage (110) configured to move the sample holder (30) at least along a first sample axis (111) and a second sample axis (112) in a plane perpendicular to the rotation axis (131), and a second translation stage (120) configured to move the rotation stage (130), the sample holder (30) and the first translation stage (110) at least along a first manipulator axis (121) that is perpendicular to the beam axis (11) and perpendicular to the vertical direction. The rotation stage (130) is in a moving system of the second translation stage (120), the first translation stage (110) is in a rotational system of the rotation stage (130), and the sample holder (30) is in a moving system of the first translation stage (110). Thus, the manipulator (101) allows to position the center of mass of the sample (31) substantially on-axis with regard to the rotation axis (131) and to compensate for different rotational positions of the rotation stage (130) a respective measured or pre- determined native deviation of the rotation axis (131) from a position of a nominal reference rotation axis of the rotation stage (130) at least in a direction that is perpendicular to the beam axis (11) and perpendicular to the vertical direction (V). La présente invention concerne une unité d'irradiation de particules chargées (100) et un diffractomètre comprenant une telle unité d'irradiation (100), l'unité d'irradiation (100) comprenant une source de particules chargées (10), un système optique à particules chargées (20), un porte-échantillon (30) et un manipulateur (101) couplé de manière fonctionnelle au porte-échantillon (30) pour positionner un échantillon (31) par rapport à l'axe de faisceau (11). Le manipulateur (101) comprend un étage de rotation (130) pour faire tourner le porte-échantillon (30) par rapport au faisceau incident autour d'un axe de rotation sensiblement vertical (131), un premier étage de translation (110) configuré pour déplacer le porte-échantillon (30) au moins le long d'un premier axe d'échantillon (111) et d'un second axe d'échantillon (112) dans un plan perpendiculaire à l'axe de rotation (131), et un second étage de translation (120) configuré pour déplacer l'étage de rotation (130), le porte-échantillon (30) et le premier étage de translation (110) au moins le long d'un premier axe de manipulateur (121) qui est perpendiculaire à l'axe de faisceau (11) et perpendiculaire à la direction verticale. L'étage de rotation (130) est dans un système mobile du second étage de translation (120), le premier étage de translation (110) est dans un système de rotation de l'étage de rotation (130), et le porte-échantillon (30) est dans un système mobile du premier étage de translation (110). Ainsi, le manipulateur (101) permet de positionner le centre de masse de l'échantillon (31) sensiblement sur l'axe par rapport à l'axe de rotation (131) et de compenser, pour différentes positions de rotation de l'étage de rotation (130), un écart natif mesuré ou prédéterminé respectif de l'axe de rotation (131) par rapport à une position d'un axe de rotation de référence nominal de l'étage de rotation (130) au moins dans une direction qui est perpendiculaire à l'axe de faisceau (11) et perpendiculaire à la direction verticale (V).
Bibliography:Application Number: WO2023EP73546