METHOD FOR DEFECT REVIEW MEASUREMENT ON A SUBSTRATE, APPARATUS FOR IMAGING A SUBSTRATE, AND METHOD OF OPERATING THEREOF

• Main Authors: KNAUB, Nikolai, LI, Lingjia, GAO, Yong, MUELLER, Bernhard, NUNAN, Peter
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 22.02.2024
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; PHYSICS

A method for defect classification is described. The method includes storing a plurality of defect classes in terms of a plurality of classification rules in a multi-dimensional feature space, wherein the plurality of classification rules, for each defect class of the plurality of defect classes, defines in the multi-dimensional feature space a boundary of a region associated with the defect class; receiving one or more electron beam image data associated with a plurality of defects detected in one or more display devices on a large area substrate under inspection; applying, by a processor, an automatic classifier to the electron beam image data, the automatic classifier based on the plurality of classification rules; and identifying the plurality of defects each classified with at least a first level of confidence based on at least one confidence threshold. Est ici décrit un procédé de classement de défauts. Le procédé comprend le stockage d'une pluralité de classes de défauts eu égard à une pluralité de règles de classement dans un espace de caractéristiques multidimensionnel, la pluralité de règles de classement, pour chaque classe de défauts de la pluralité de classes de défauts, définissant dans l'espace de caractéristiques multidimensionnel une limite d'une région associée à la classe de défauts; la réception d'une ou plusieurs donnée(s) d'image de faisceau d'électrons associée(s) à une pluralité de défauts détectés dans un ou plusieurs dispositif(s) d'affichage sur un substrat de grande superficie en cours d'inspection; l'application, par un processeur, d'un classificateur automatique aux données d'image de faisceau d'électrons, le classificateur automatique étant basé sur la pluralité de règles de classement; et l'identification de la pluralité de défauts dont chacun est classé avec au moins un premier niveau de confiance sur la base d'au moins un seuil de confiance.