ESTIMATION METHOD FOR ESTIMATING ESTIMATION TARGET INCLUDED IN ANALYSIS CONDITION, ANALYSIS METHOD, PROGRAM, AND ESTIMATION DEVICE

• Main Authors: SHIBAHARA, Masakazu, MATSUOKA, Ryo, MAEDA, Shintaro, KITANI, Yuji, YAMAUCHI, Yuki, IKUSHIMA, Kazuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.02.2024
• Subjects: CALCULATING; COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS; COMPUTING; COUNTING; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The present invention provides an estimation method that can quickly and accurately estimate an estimation target included in an analysis condition.　An estimation method according to the present invention is characterized by including: a measurement step for measuring measurement data at one or more measurement point; a first analysis step for using an analysis condition including an estimation target to perform an analysis and obtain an analysis result; a second analysis step for setting a value obtained by applying perturbation to the value of the estimation target used in the first analysis step as the value of the estimation target so as to perform an analysis and obtain an analysis result; and a calculation step for calculating a sensitivity matrix on the basis of the analysis result of the first analysis step and the analysis result of the second analysis step, calculating an error between the analysis result of the first analysis step and the measurement data at the measurement point or data calculated from the measurement data, and calculating the amount by which the value of the estimation target is to be changed from the sensitivity matrix and the error. La présente invention concerne un procédé d'estimation qui peut estimer rapidement et avec précision une cible d'estimation incluse dans une condition d'analyse.　Un procédé d'estimation selon la présente invention est caractérisé en ce qu'il comprend : une étape de mesure pour mesurer des données de mesure au niveau d'un ou plusieurs points de mesure ; une première étape d'analyse consistant à utiliser une condition d'analyse incluant une cible d'estimation pour effectuer une analyse et obtenir un résultat d'analyse ; une seconde étape d'analyse pour régler une valeur obtenue par application d'une perturbation à la valeur de la cible d'estimation utilisée dans la première étape d'analyse en tant que valeur de la cible d'estimation de façon à effectuer une analyse et obtenir un résultat d'analyse ; et une étape de calcul pour calculer une matrice de sensibilité sur la base du résultat d'analyse de la première étape d'analyse et du résultat d'analyse de la seconde étape d'analyse, calculer une erreur entre le résultat d'analyse de la première étape d'analyse et les données de mesure au niveau du point de mesure ou des données calculées à partir des données de mesure et calculer la quantité par laquelle la valeur de la cible d'estimation doit être modifiée à partir de la matrice de sensibilité et de l'erreur. 本発明は、解析条件に含まれる推定対象を短時間で正確に推定することができる推定方法を提供する。　本発明の推定方法は、少なくとも１つの計測点における測定データを計測する計測ステップと、推定対象を含む解析条件を用いて解析を行い解析結果を得る第１解析ステップと、第１解析ステップで用いた推定対象の値に摂動を与えた値を推定対象の値に設定して解析を行い解析結果を得る第２解析ステップと、第１解析ステップの解析結果と、第２解析ステップの解析結果とに基づき感度行列を算出し、計測点における測定データ又は測定データから算出したデータと第１解析ステップの解析結果との誤差を算出し、感度行列と誤差から推定対象の値を変化させる量を算出する算出ステップとを含むことを特徴とする。