VIBRATION CONTROL OF STRUCTURAL ELEMENTS OF EXPOSURE APPARATUS

• Main Authors: SAKATA, Koichi, TOKUMI, Kensuke, MARGESON, Christopher Sean, LEE, Hwan, ASAUMI, Hiroyoshi, KITABATAKE, Shigeki, YUAN, Bausan, YANG, Pai-Hsueh
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 01.02.2024
• Subjects: BLASTING; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HAND TOOLS; HEATING; LIGHTING; MANIPULATORS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION; MECHANICAL ENGINEERING; PERFORMING OPERATIONS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SHOCK-ABSORBERS; SPRINGS; THERMAL INSULATION IN GENERAL; TRANSPORTING; WEAPONS

A method of controlling vibration of a structural element of an exposure apparatus includes receiving data of a position of the structural element, determining a position error signal based at least in part on the position data and a specified position of the structural element, determining a force command to damp a specified vibration mode frequency of the structural element based at least in part on the position error signal and the specified vibration mode frequency, and transmitting the force command to an actuator such that the actuator applies force to the structural element and damps vibration of the structural element at least at the specified vibration mode frequency of the structural element. Est divulgué un procédé de régulation de la vibration d'un élément structurel d'un appareil d'exposition, consistant : à recevoir des données d'une position de l'élément structurel ; à déterminer un signal d'erreur de position en fonction, au moins en partie, des données de position et d'une position spécifiée de l'élément structurel ; à déterminer une commande de force pour amortir une fréquence de mode de vibration spécifiée de l'élément structurel en fonction, au moins en partie, du signal d'erreur de position et de la fréquence de mode de vibration spécifiée ; et à transmettre la commande de force à un actionneur de sorte que celui-ci applique une force à l'élément structurel et amortisse la vibration dudit élément, au moins à la fréquence de mode de vibration spécifiée de l'élément structurel.